化學氣相沉積法制備鎢系列產品特點及工藝分析

編號：CPJS02036

篇名：化學氣相沉積法制備鎢系列產品特點及工藝分析

作者：陳志剛； 顏彬游； 馮振雷；

關鍵詞：鎢系列產品； 化學氣相沉積法； 工藝流程； 設備體系； 材料特性；

機構： 廈門鎢業(yè)股份有限公司；

摘要： 介紹了利用化學氣相沉積(CVD)法制備鎢系列產品(包括鎢管、鎢坩堝、鎢異型件等純鎢產品和銅基/鎢基/鉬基/石墨基等涂層產品)的工藝流程及設備體系。CVD法制得的鎢系列產品特點有:密度高,其密度值達到理論密度的98.5%以上;純度高,鎢含量達到99.999 9%;微觀組織為柱狀晶或多層柱狀晶結構;涂層類產品鎢與基體結合強度高。