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四方光電（武漢）儀器有限公司
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產(chǎn)品名稱：紅外氣體傳感器
產(chǎn)品型號：Gasboard-2060
紅外氣體傳感器產(chǎn)品概述
紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產(chǎn)生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內(nèi)常見預留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。
紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性
使用NDIR技術，多氣體監(jiān)測支持(SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)
響應時間快，高靈敏度
無耗材
模擬/數(shù)字通信
模塊化設計，便于集成
紅外氣體傳感器技術參數(shù)
| 檢測原理 | NDIR |
| 檢測氣體 | SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 |
| 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
| 重復性 | ±0.5% |
| 線性 | ±1%F.S. |
| 檢測限 | 1ppm |
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企業(yè)名稱
四方光電（武漢）儀器有限公司企業(yè)類型
有限責任公司（自然人投資或控股的法人獨資）信用代碼
914201005519974097法人代表
熊友輝注冊地址
武漢東湖新技術開發(fā)區(qū)關東街道鳳凰園一路5號科夢除氨產(chǎn)業(yè)基地1棟1-5層成立日期
2010-04-19復制注冊資本
3000萬元人民幣有效期限
2010-04-19 至 2030-04-19經(jīng)營范圍
一般項目 : 技術服務、技術開發(fā)、技術咨詢、技術交流、技術轉讓、技術推廣;軟件開發(fā);信息系統(tǒng)集成服務;碳減排、碳轉化、碳捕捉、碳封存技術研發(fā);石油天然氣技術服務;物聯(lián)網(wǎng)技術研發(fā);機械設備研發(fā);儀器儀表制造;儀器儀表銷售;大氣污染監(jiān)測及檢測儀器儀表制造;大氣污染監(jiān)測及檢測儀器儀表銷售;環(huán)境監(jiān)測專用儀器儀表制造;環(huán)境監(jiān)測專用儀器儀表銷售;環(huán)境保護監(jiān)測;電子產(chǎn)品銷售;電子元器件批發(fā);非居住房地產(chǎn)租賃;貨物進出口;技術進出口;進出口代理。（除許可業(yè)務外，可自主依法經(jīng)營法律法規(guī)非禁止或限制的項目）
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