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如果你沒有從掃描電鏡圖片中獲得你想要的信息，在掃描電鏡功能一切正常的前提下，極有可能是樣品制備不夠成功導(dǎo)致的。

以下兩個案例將直觀地說明這個問題：

1. 錫球焊接分析

未使用 Technoorg Linda 離子研磨儀制樣（飛納臺式電鏡拍攝）

使用 Technoorg Linda 離子研磨儀制樣（飛納臺式電鏡拍攝）

說明：如果不使用離子研磨儀，就無法用掃描電鏡觀察到錫球焊接處的缺陷

2. 陶瓷

未使用 Technoorg Linda 離子研磨儀制樣（飛納臺式電鏡拍攝）

使用 Technoorg Linda 離子研磨儀制樣（飛納臺式電鏡拍攝）

說明：如果不使用離子研磨儀，就無法用掃描電鏡觀察到陶瓷晶粒和富集相的正確位置

因此，使用離子研磨儀后，將有助于得到材料表面更豐富更準(zhǔn)確的形貌信息。對于一般的內(nèi)部結(jié)構(gòu)觀察，使用傳統(tǒng)的機(jī)械研磨即可以達(dá)到需要的分析效果，但是對于某些精度要求較高或是機(jī)械研磨外部應(yīng)力會產(chǎn)生影響的情況下，使用高精度、無應(yīng)力的、無接觸式的研磨——離子研磨就很有必要。電子行業(yè)通常要求精度較高的結(jié)構(gòu)分析，例如細(xì)微失效缺陷分析；或是對處理應(yīng)力有較高要求的缺陷分析，例如樹脂與玻纖布的結(jié)合，銅箔厚度的仲裁測量等；這類情況下傳統(tǒng)的機(jī)械研磨就無法再達(dá)到預(yù)期的觀察效果。

什么是機(jī)械研磨？

機(jī)械研磨作為最常用的粗樣制備手段，通常的機(jī)械研磨和拋光會在表面上形成 1 nm 至 100 nm 厚度的非晶層，稱為 Beilby 層。Beilby 層會掩蓋住大部分的樣品真實(shí)信息，對掃描電鏡表征產(chǎn)生很大的影響。特別對于常見的金剛石拋光技術(shù)，因?yàn)樗鼤贡砻娴木ЯＷ冃?，從而影響表征結(jié)果（例如金相樣品）。離子研磨技術(shù)則克服了上述所有困難，從而提供了高分辨率表征所需的表面光潔度。

什么是離子研磨？

離子研磨實(shí)現(xiàn)的過程中，首先通過一個高壓電極來對氬氣進(jìn)行電離，從而形成氬離子；繼而再通過一個高壓電場來對氬離子實(shí)施加速，經(jīng)過帶有偏轉(zhuǎn)電場的離子槍頭，使其形成離子束對需要研磨的樣品進(jìn)行轟擊，將樣品表面物質(zhì)以原子的形態(tài)清除出去，以使得樣品達(dá)到無應(yīng)力研磨的效果。如圖 1 所示。在整個過程中會調(diào)整一些參數(shù)，例如離子能量，離子束入射角，以優(yōu)化樣品制備時間和表面質(zhì)量。

離子研磨原理

荷蘭飛納臺式場發(fā)射掃描電鏡能譜一體機(jī)攜手匈牙利 Technoorg Linda 離子研磨儀，助您輕松高效地研究隱藏在表象下豐富準(zhǔn)確的材料表面形貌成分信息，為用戶帶來最高的性價比體驗(yàn)。

Technoorg Linda 全自動離子研磨儀 SEMPrep2 最多可配備兩支離子槍。高能量離子槍進(jìn)行快速切削，低能量離子槍用于表面的精細(xì)拋光和清潔，制備適用于制備高品質(zhì)的無損傷樣品?？蛇x配更強(qiáng)大的 16 keV 超高能量離子槍用于超硬材料和更快速切削樣本?？蛇x配液氮或 Peltier 冷卻臺，保護(hù)對熱敏感的樣品。該設(shè)備具備的氣鎖系統(tǒng)，有利于大通量樣本 快速交換，顯著縮短換樣時間。完全自動化的操作系統(tǒng)，可編程，保存和再現(xiàn)制樣參數(shù)，避免不同操作者的造成的人為差異。

Phenom Pharos 飛納臺式場發(fā)射掃描電鏡能譜一體機(jī)采用肖特基場發(fā)射電子源，集背散射電子成像、二次電子成像和能譜分析功能于一體。高亮度肖特基場發(fā)射電子源，使用戶可以輕松獲得高分辨率圖像。圖形化操作界面，15 秒抽真空，30秒成像，放置環(huán)境無特殊要求，內(nèi)置磁屏蔽系統(tǒng)，完全防震。Phenom Pharos 低電壓成像優(yōu)勢明顯，可減輕電子束對樣品的損傷和穿透，最大程度還原樣品真實(shí)形貌，最高放大倍數(shù) 1,000,000X，分辨率優(yōu)于 2.2nm。

案例研究一：鋰電池負(fù)極材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)

為了研究不同循環(huán)次數(shù)與充電速率下鋰電池負(fù)極石墨顆粒內(nèi)裂紋的形成，需要對顆粒截面微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)行研究。鋰電池材質(zhì)較軟，機(jī)械拋光或切割會破壞顆粒，因此需要離子研磨進(jìn)行樣品制備以準(zhǔn)確分析材料的微觀結(jié)構(gòu)。

鋰電池負(fù)極石墨顆?！词褂?Technoorg Linda 離子研磨儀制樣（飛納臺式電鏡拍攝）

鋰電池負(fù)極石墨顆?！褂?Technoorg Linda 離子研磨儀切開負(fù)極材料粉末顆粒（飛納臺式電鏡拍攝）

案例研究二：鋁合金夾雜物

Technoorg Linda 離子研磨儀處理鋁合金表面后，使用飛納臺式掃描電鏡能譜一體機(jī)，即刻就能分析鋁合金材料表面的形貌和成分。夾雜是鑄造鋁合金中普遍存在的問題，夾雜物的檢測對于鑄件的質(zhì)量控制非常重要。