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金屬顆粒的識(shí)別是清潔度分析的重要要求。近年來(lái)，金屬顆粒的光學(xué)檢測(cè)通常是通過(guò)光澤度進(jìn)行的。根據(jù)實(shí)驗(yàn)室經(jīng)驗(yàn)，我們發(fā)現(xiàn)光學(xué)顯微鏡分析通常會(huì)導(dǎo)致錯(cuò)誤的分類，這可以通過(guò)使用掃描電鏡和能譜（SEM+EDX）的檢測(cè)方法進(jìn)行材料分析，輕松避免金屬顆粒的誤識(shí)別。

光學(xué)顯微鏡與掃描電鏡檢測(cè)的原理是什么？

金屬顆粒的光學(xué)顯微鏡檢測(cè)是基于光反射進(jìn)行的，包含亮點(diǎn)的顆粒被分類為金屬雜質(zhì)。在所有其他情況下，該顆粒被視為非金屬雜質(zhì)。在掃描電鏡和能譜（SEM+EDX）的分析中，會(huì)測(cè)量顆粒的 X 射線光譜，從而識(shí)別其元素成分，實(shí)現(xiàn)精確的材料分類。

所有金屬顆粒都會(huì)發(fā)光嗎？

根據(jù)光反射原理的分析，要求濾膜上的金屬顆粒要反光發(fā)亮。由于污染物顆粒在零件加工過(guò)程中暴露于液體、高溫和摩擦環(huán)境中，因此它們的表面會(huì)因?yàn)楦g等原因而不反光，呈現(xiàn)暗色。這些金屬顆粒在光學(xué)顯微鏡下，會(huì)被錯(cuò)誤地分類為非金屬顆粒。

在如下示例中，顯示了三種顆粒（鋅，鋼和鋁），這些顆粒通過(guò)光學(xué)顯微鏡確認(rèn)為非金屬。然而，通過(guò)掃描電鏡和能譜（SEM+EDX）分析顯示了這些顆粒的金屬性質(zhì)。

光學(xué)顯微鏡嚴(yán)重低估了金屬顆粒的數(shù)量

下方案例顯示了與 SEM+EDX 相比，光學(xué)顯微鏡分析存在重大誤差。

由汽車供應(yīng)商提供的同一片濾膜，分別進(jìn)行了光學(xué)顯微鏡的顆粒分析以及 SEM+EDX 的測(cè)試分析。通過(guò)比較結(jié)果顯示，光學(xué)顯微鏡檢測(cè)的金屬顆粒數(shù)，不到實(shí)際金屬顆粒的 1/60。

Phenom ParticleX 全自動(dòng)分析系統(tǒng)

金屬顆粒可靠性檢測(cè)，對(duì)于組件功能（例如電子零件）有至關(guān)重要的作用，因此，小編建議通過(guò)掃描電鏡和能譜（SEM+EDX）的方法進(jìn)行顆粒分析，ParticleX 全自動(dòng)清潔度分析系統(tǒng)是一個(gè)理想的選擇。而對(duì)于組件清潔的常規(guī)分析，通過(guò)光學(xué)顯微鏡檢測(cè)的金屬顆粒數(shù)僅供參考，顆粒總數(shù)是一個(gè)更值得信賴的參數(shù)。