天津中環(huán)電爐股份有限公司
3 年金牌會(huì)員
已認(rèn)證
撥打電話
獲取底價(jià)
提交后,商家將派代表為您專(zhuān)人服務(wù)
天津中環(huán)電爐股份有限公司
已認(rèn)證
產(chǎn)品應(yīng)用:
PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。
產(chǎn)品組成:
PECVD系統(tǒng)配置:
1.1200度開(kāi)啟式雙溫區(qū)真空管式爐
2.滑動(dòng)系統(tǒng)分為手動(dòng)、電動(dòng)滑動(dòng),并配置管內(nèi)測(cè)溫系統(tǒng)。
3.預(yù)加熱開(kāi)啟式管式電爐
4.等離子射頻電源
5.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)
6.真空系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)
產(chǎn)品特點(diǎn):
生長(zhǎng)溫度低;沉積速率快;成膜質(zhì)量好,適用范圍廣,設(shè)備簡(jiǎn)單。
相關(guān)產(chǎn)品
更多
企業(yè)名稱(chēng)
天津中環(huán)電爐股份有限公司企業(yè)類(lèi)型
信用代碼
91120113700587236G法人代表
注冊(cè)地址
成立日期
注冊(cè)資本
有效期限
經(jīng)營(yíng)范圍
虛擬號(hào)將在 秒后失效
使用微信掃碼撥號(hào)