產品用途:
產品專業(yè)性:
PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發(fā)生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。
產品組成:
PECVD系統(tǒng)配置:
1.1200度開啟式雙溫區(qū)真空管式爐
2.等離子射頻電源
3.多路質量流量控制系統(tǒng)
4.真空系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)
產品特點:
生長溫度低;沉積速率快;成膜質量好,適用范圍廣,設備簡單。
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天津中環(huán)電爐股份有限公司
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天津中環(huán)電爐股份有限公司簡稱中環(huán)電爐,始于1993年,以“為用戶提供優(yōu)質的產品”為使命,致力于成為材料燒結測試系統(tǒng)專業(yè)生產商。(致力于成為材料燒結測試系統(tǒng)解決方案專家)中環(huán)電爐集研發(fā)、制造、營銷能力于一身,以實驗室電爐和熱分析系統(tǒng)兩大產品線為核心,已擁有實驗室電加熱類產品21大系列280余種, 熱分析類產品可視化高溫形變分析儀和高溫接觸角測試儀等,**達到40多項,并以每年10余項的數(shù)量遞增,在國家級科研院所,知名高校和重點領域企業(yè)擁有上萬用戶,公司產品主要應用于金屬