馬爾文帕納科
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馬爾文帕納科
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Wafer XRD用于全自動晶圓揀選、生產(chǎn)和質(zhì)量控制
特點
適用于3到8寸晶圓。也可根據(jù)要求提供其他尺寸
FOUP、載具或單個晶圓臺
跨槽晶圓識別為可選功能
易于集成到任何工藝生產(chǎn)線中
測量速度:每個樣品<10秒
典型標(biāo)準(zhǔn)偏差(傾斜度):例如Si 100<0.003°
MES和SECS/GEM接口
銅靶微焦點風(fēng)冷X射線光管(**30W)或細(xì)焦點水冷X射線光管(**1.5kW)
完全符合CE標(biāo)準(zhǔn)的安全控制裝置
通過3色燈塔指示狀
材料
Si、SiC、GaAs、GaN、藍(lán)寶石(Al?O?)、Ge、AIN、石英、InP和100s等。
可選插件
電阻率測量范圍:0.01至0.020Ωcm
自動識別晶圓數(shù)據(jù)矩陣碼、二維碼、條形碼或類似代碼
未拋光晶圓和鏡面的距離測量
年產(chǎn)1,000,000片晶圓
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企業(yè)名稱
馬爾文帕納科企業(yè)類型
有限責(zé)任公司(外國法人獨資)信用代碼
310000400417821法人代表
SIMONPAULEAGLE注冊地址
上海市閔行區(qū)元山路88弄9號成立日期
2005-03-22注冊資本
200萬(美元)有效期限
2005-03-22 至 2035-03-21經(jīng)營范圍
一般項目:實驗分析儀器制造;儀器儀表制造;智能儀器儀表制造;專用設(shè)備制造(不含許可類專業(yè)設(shè)備制造);虛擬現(xiàn)實設(shè)備制造;氣體、液體分離及純凈設(shè)備制造;工業(yè)自動控制系統(tǒng)裝置制造;專用儀器制造;儀器儀表修理;環(huán)境監(jiān)測專用儀器儀表制造;通用設(shè)備制造(不含特種設(shè)備制造);其他通用儀器制造;專用設(shè)備修理;機(jī)械零件、零部件加工;機(jī)械設(shè)備租賃;特種設(shè)備銷售;軟件開發(fā);軟件銷售;機(jī)械零件、零部件銷售;環(huán)境監(jiān)測專用儀器儀表銷售;氣體、液體分離及純凈設(shè)備銷售;實驗分析儀器銷售;工業(yè)自動控制系統(tǒng)裝置銷售;電子產(chǎn)品銷售;機(jī)械設(shè)備銷售;技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣;標(biāo)準(zhǔn)化服務(wù);銷售代理;國內(nèi)貿(mào)易代理;儀器儀表銷售;商務(wù)代理代辦服務(wù);信息系統(tǒng)集成服務(wù);智能儀器儀表銷售;企業(yè)管理;企業(yè)管理咨詢;信息技術(shù)咨詢服務(wù);租賃服務(wù)(不含許可類租賃服務(wù));工業(yè)酶制劑研發(fā);計量技術(shù)服務(wù);數(shù)據(jù)處理和存儲支持服務(wù);貨物進(jìn)出口;技術(shù)進(jìn)出口;進(jìn)出口代理;企業(yè)總部管理。(除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目外,憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動) 許可項目:危險化學(xué)品經(jīng)營;特種設(shè)備安裝改造修理;特種設(shè)備制造;Ⅱ、Ⅲ、Ⅳ、Ⅴ類放射源銷售。(依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動,具體經(jīng)營項目以相關(guān)部門批準(zhǔn)文件或許可證件為準(zhǔn)