馬爾文帕納科
已認(rèn)證
馬爾文帕納科
已認(rèn)證
XRD 系列
晶圓和鑄錠快速準(zhǔn)確的晶向定位
從全自動(dòng)的在線分析到晶圓材料的快速質(zhì)量檢查,我們的晶向定位解決方案在
設(shè)計(jì)時(shí)考慮到了晶棒、鑄錠、切片和晶圓的全部應(yīng)用場(chǎng)景。此系列產(chǎn)品利用
XRD分析技術(shù)在晶圓生產(chǎn)的全部流程中,提供簡(jiǎn)單、快速、高精度的晶體定
向測(cè)量,大大提高產(chǎn)品良率。
Omega/Theta(XRD)
用于超快晶體定向的全自動(dòng)垂直三軸XRD
10秒內(nèi)完成定向
定向精度:0.003°
定向轉(zhuǎn)移技術(shù):多鑄錠取向測(cè)定,實(shí)現(xiàn)高效切割
晶錠端面及定位邊定向和轉(zhuǎn)移夾具可選
光學(xué)測(cè)量工具可選,可測(cè)樣品直徑、平邊/V 槽位置、形狀、長(zhǎng)度、深度
適應(yīng)不同樣品的精密樣品轉(zhuǎn)盤、mapping臺(tái)和工裝夾具
搖擺曲線測(cè)量
DDCOM(XRD)
緊湊型超快晶體自動(dòng)定向儀
10秒內(nèi)完成定向
定向精度:0.01°
兩個(gè)閃爍探測(cè)器
專為方位角設(shè)置和晶向標(biāo)記而設(shè)計(jì)
可測(cè)直徑為 8 mm 至**225 mm的晶圓和晶錠
無(wú)需水冷
SDCOM(XRD)
用戶友好的緊湊型多功能XRD
超快測(cè)量,10秒內(nèi)返回結(jié)果
定向精度:0.01°
定向轉(zhuǎn)移技術(shù):多鑄錠取向測(cè)定,實(shí)現(xiàn)高效切割
光學(xué)測(cè)量工具可選,可測(cè)樣品直徑、平邊/V 槽位置、形狀、長(zhǎng)度、深度
樣品直徑1-200mm
無(wú)需水冷
XRD-OEM
在線晶體定向測(cè)定
標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)接口,可集成到任何自動(dòng)化或加工系統(tǒng)中
線切/研磨前對(duì)大型晶錠進(jìn)行全自動(dòng)在線定向
可內(nèi)置于磨床和切割機(jī)等惡劣環(huán)境中使用
平邊/V槽的光學(xué)測(cè)量功能,如位置、形狀、長(zhǎng)度、深度等
Wafer XRD 200 / 300
Wafer XRD 200
無(wú)縫融入生產(chǎn)線的全自動(dòng)高速XRD
用于3-8英寸晶圓片
定向精度:0.003°
產(chǎn)能:100萬(wàn)片/年
幾秒鐘內(nèi)提供各種基本參數(shù)的關(guān)鍵數(shù)據(jù),如晶體取向和電阻率、幾何特征(如 V 槽和平槽)、距離測(cè)量等
全自動(dòng)處理和揀選晶圓片
Wafer XRD 300
用于300mm晶圓生產(chǎn)的高速XRD
超快速提供12英寸晶圓的晶體取向和幾何特征等
定向精度:0.003°
幾秒鐘內(nèi)提供各種基本參數(shù)的關(guān)鍵數(shù)據(jù),如晶體取向和電阻率、幾何特征(如 V 槽和平槽)、距離測(cè)量等
附加功能
晶圓面掃 鑄錠堆垛
自動(dòng)化晶圓揀選 小樣品夾具
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企業(yè)名稱
馬爾文帕納科企業(yè)類型
有限責(zé)任公司(外國(guó)法人獨(dú)資)信用代碼
310000400417821法人代表
SIMONPAULEAGLE注冊(cè)地址
上海市閔行區(qū)元山路88弄9號(hào)成立日期
2005-03-22注冊(cè)資本
200萬(wàn)(美元)有效期限
2005-03-22 至 2035-03-21經(jīng)營(yíng)范圍
一般項(xiàng)目:實(shí)驗(yàn)分析儀器制造;儀器儀表制造;智能儀器儀表制造;專用設(shè)備制造(不含許可類專業(yè)設(shè)備制造);虛擬現(xiàn)實(shí)設(shè)備制造;氣體、液體分離及純凈設(shè)備制造;工業(yè)自動(dòng)控制系統(tǒng)裝置制造;專用儀器制造;儀器儀表修理;環(huán)境監(jiān)測(cè)專用儀器儀表制造;通用設(shè)備制造(不含特種設(shè)備制造);其他通用儀器制造;專用設(shè)備修理;機(jī)械零件、零部件加工;機(jī)械設(shè)備租賃;特種設(shè)備銷售;軟件開發(fā);軟件銷售;機(jī)械零件、零部件銷售;環(huán)境監(jiān)測(cè)專用儀器儀表銷售;氣體、液體分離及純凈設(shè)備銷售;實(shí)驗(yàn)分析儀器銷售;工業(yè)自動(dòng)控制系統(tǒng)裝置銷售;電子產(chǎn)品銷售;機(jī)械設(shè)備銷售;技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣;標(biāo)準(zhǔn)化服務(wù);銷售代理;國(guó)內(nèi)貿(mào)易代理;儀器儀表銷售;商務(wù)代理代辦服務(wù);信息系統(tǒng)集成服務(wù);智能儀器儀表銷售;企業(yè)管理;企業(yè)管理咨詢;信息技術(shù)咨詢服務(wù);租賃服務(wù)(不含許可類租賃服務(wù));工業(yè)酶制劑研發(fā);計(jì)量技術(shù)服務(wù);數(shù)據(jù)處理和存儲(chǔ)支持服務(wù);貨物進(jìn)出口;技術(shù)進(jìn)出口;進(jìn)出口代理;企業(yè)總部管理。(除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目外,憑營(yíng)業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)) 許可項(xiàng)目:危險(xiǎn)化學(xué)品經(jīng)營(yíng);特種設(shè)備安裝改造修理;特種設(shè)備制造;Ⅱ、Ⅲ、Ⅳ、Ⅴ類放射源銷售。(依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng),具體經(jīng)營(yíng)項(xiàng)目以相關(guān)部門批準(zhǔn)文件或許可證件為準(zhǔn)