中國(guó)粉體網(wǎng)訊 2024年12月20日消息,國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示,北京晶亦精微科技股份有限公司取得一項(xiàng)名為“晶圓光電化學(xué)機(jī)械平坦化裝置及方法”的專利,助推晶圓拋光。發(fā)明專利申請(qǐng) 來(lái)源:國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局化學(xué)機(jī)械拋光(Chemic[更多]
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