據(jù)報(bào)道,低溫多晶硅LTPS是Low Temperature Ploy Silicon的縮寫,一般情況下低溫多晶硅的制程溫度應(yīng)低于攝氏600度,尤其對(duì)LTPS區(qū)別于a-Si制造的制造程序“激光退火”(laser anneal)[更多]
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