中國粉體網(wǎng)訊 近日,中科院大連化學(xué)物理研究所化學(xué)激光研究中心研究員李剛、研究員金玉奇團(tuán)隊與生物能源化學(xué)品研究組合作,以自主合成的新型超細(xì)納米氧化鈰(CeO2)為拋光漿料,利用化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)技術(shù),加工出極低缺陷亞埃級([更多]
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