中國粉體網(wǎng)訊 集成電路(IC)的制造過程中有著數(shù)百道的工藝步驟,硅片需要在這些工藝設備中來回的傳遞運輸進行加工檢測。為了保證IC的制造質量,必須確保硅片在工藝設備之間的傳輸過程中保持絕對的平穩(wěn),同時還需保證硅片在加工載荷的作[更多]
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