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        晶圓接觸角測(cè)量?jī)x

        參考價(jià)格

        面議

        型號(hào)

        Theta Flow Wafer

        品牌

        芬蘭百歐林Biolin/Attension

        產(chǎn)地

        芬蘭

        樣本

        暫無(wú)
        大昌華嘉科學(xué)儀器部

        白金會(huì)員

        |

        第15年

        |

        代理商

        工商已核實(shí)

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        核心參數(shù)
        • 誤差率:

        • 分辨率:

        • 重現(xiàn)性:

        • 儀器原理:

          其他
        • 分散方式:

        • 測(cè)量時(shí)間:

        • 測(cè)量范圍:

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        Theta Flow Wafer晶圓接觸角測(cè)量?jī)x是一款高端的晶圓全自動(dòng)接觸角測(cè)量?jī)x器。該儀器包括Theta Flow光學(xué)接觸角測(cè)量?jī)x主機(jī),可配置四個(gè)具有軟件控制、可水平移動(dòng)、可拋棄滴液頭的自動(dòng)滴液器,以及帶自動(dòng)旋轉(zhuǎn)的全自動(dòng)XYZ樣品臺(tái)。


        新建項(xiàng)目 (1) (1).jpg


        晶圓上的接觸角測(cè)量對(duì)于評(píng)估這些材料的潤(rùn)濕性和表面特性至關(guān)重要,這些材料廣泛應(yīng)用于電子制造。通過(guò)評(píng)估液滴與晶片表面接觸的角度,研究人員可以深入了解硅的表面能和粘附性能。這些信息對(duì)于優(yōu)化半導(dǎo)體制造中的涂層、光刻和鍵合等工藝至關(guān)重要。了解接觸角有助于確保晶片與生產(chǎn)過(guò)程中使用的各種材料之間的預(yù)期相互作用,*終提高電子設(shè)備的性能和可靠性。


        應(yīng)用

        ? 研究表面清潔度

        接觸角測(cè)量可以評(píng)估晶圓的清潔度,從而來(lái)評(píng)估表面污染物和殘留物的去除情況。

        ? 確定表面自由能

        通過(guò)測(cè)量接觸角,可以推斷出表面自由能,這對(duì)于理解其他材料如何與晶圓相互作用至關(guān)重要。

        ? 了解粘附性能

        接觸角有助于確定應(yīng)用于晶圓的涂層和薄膜的粘附性能。

        ? 研究親水性/疏水性

        測(cè)量接觸角可以確定晶圓表面是親水還是疏水,從而影響光刻和蝕刻等工藝。

        ? 用于質(zhì)量控制

        定期的接觸角測(cè)量可以作為質(zhì)量控制過(guò)程的一部分,以確保晶圓加工和處理的一致性。


        支持晶圓接觸角測(cè)量的軟件功能

        ? 批量模式,用于對(duì)一排多個(gè)晶圓進(jìn)行快速測(cè)量。

        ? 標(biāo)準(zhǔn)座滴法,可進(jìn)行更深入的分析。


        晶圓自動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)

        Theta系列晶圓樣品臺(tái)是一種由軟件控制的電動(dòng)平臺(tái),用于旋轉(zhuǎn)晶圓,以實(shí)現(xiàn)直徑高達(dá)12英寸晶圓的接觸角自動(dòng)定位測(cè)量。

         新建項(xiàng)目.jpg

        Theta系列晶圓樣品臺(tái)包括旋轉(zhuǎn)臺(tái)(T340R)和晶圓臺(tái)面(T340RW)。晶圓臺(tái)面的插銷(xiāo)有助于晶圓的高精度對(duì)準(zhǔn)和定位。定位銷(xiāo)還有助于在測(cè)量過(guò)程中將晶圓保持在適當(dāng)?shù)奈恢?。為了進(jìn)一步固定晶圓,還可以通過(guò)內(nèi)置的真空連接口連接到真空泵。


        Theta系列晶圓樣品臺(tái)連接到自動(dòng)XYZ樣品臺(tái),可以自動(dòng)定位直徑高達(dá)12英寸的晶圓。為了**限度地提高旋轉(zhuǎn)臺(tái)的性能,建議將其與四個(gè)可拋棄滴液頭滴液器結(jié)合使用。這將允許自動(dòng)進(jìn)行表面自由能測(cè)量,或者在只使用水的情況下增加連續(xù)的測(cè)量次數(shù)。

        晶圓接觸角測(cè)量?jī)x

        晶圓接觸角測(cè)量?jī)x

        產(chǎn)品參數(shù)
        測(cè)量參數(shù)表面張力,界面張力,接觸角,表面自由能
        相機(jī)分辨率上限(像素)2592*2048(5 MP)
        拍照速度上限(FPS)3422
        旋轉(zhuǎn)移動(dòng)范圍0-360°
        **轉(zhuǎn)速180°/s
        分辨率0.005°
        精度±0.1°


        樣品規(guī)格

        適合的樣品尺寸2英寸, 3英寸, 4英寸, 5英寸, 6英寸, 8英寸, 12英寸晶圓
        **樣品重量500g

        其他

        真空泵連接
        接觸角的自動(dòng)定位


        創(chuàng)新點(diǎn)

        Theta Flow Wafer晶圓接觸角測(cè)量?jī)x是一款高端的晶圓全自動(dòng)接觸角測(cè)量?jī)x器。該儀器包括Theta Flow Wafer光學(xué)接觸角測(cè)量?jī)x主機(jī),可配置四個(gè)具有軟件控制、可水平移動(dòng)、可拋棄滴液頭的自動(dòng)滴液器,以及帶自動(dòng)旋轉(zhuǎn)的全自動(dòng)XYZ樣品臺(tái)。

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        10分

        售后服務(wù)

        10分

        易用性

        10分

        性價(jià)比

        10分
        評(píng)論內(nèi)容
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