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平坦度測(cè)量?jī)xFT-900
測(cè)量晶片或磁盤等的翹曲、平坦度的設(shè)備
·可測(cè)量直徑不超過200mm的樣品。
·可對(duì)半導(dǎo)體晶片（硅、化合物、氧化物、玻璃）、硬盤驅(qū)動(dòng)器上使用的磁盤（鋁、玻璃）、
工業(yè)用金屬片、任意形狀的樣品進(jìn)行測(cè)量。
·無論樣品為粗糙表面或光滑表面、透明物體或者樣品上有開孔、形狀不規(guī)則，都可以進(jìn)行測(cè)量。
·通過相移法對(duì)激光斜入射干涉計(jì)產(chǎn)生的干涉條紋進(jìn)行圖像分析，以此實(shí)現(xiàn)對(duì)多種樣品的數(shù)據(jù)測(cè)量。
暫無數(shù)據(jù)！
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