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產(chǎn)品介紹

前驅(qū)體源瓶用于固態(tài)、液態(tài)及氣態(tài)超純物料類的封裝，涉及微正壓、常壓、中低壓的危險(xiǎn)化學(xué)品，對源瓶的安全性和潔凈度提出嚴(yán)苛的要求。

主要部件材料

閥體                      316L /316L（VIM+VAR）
瓶體                      316L

工作條件

工作壓力                0.8Mpa

內(nèi)漏率                    ≤ 1×10 ^-10 Pa.m³ /sec.He

外漏率                    ≤ 1×10 ^-10 Pa.m³ /sec.He

工作溫度                0 ～ 150℃

內(nèi)表面粗糙度          Ra ≤ 0.2μm

產(chǎn)品特點(diǎn)

超純物料類的封裝

涉及微正壓、常壓、中低壓