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            Uα-1B 氣體減壓器
            Uα-1B 氣體減壓器

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            型號

            Uα-1B 氣體減壓器

            品牌

            中科艾爾

            產(chǎn)地

            北京

            樣本

            暫無
            中科艾爾(北京)科技有限公司

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            |

            第1年

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              -
            • 壓力:

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              -
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            Uα-1B 氣體減壓器專為超高純氣體,半導體級工藝氣體設計,滿足超大規(guī)模集成電路的使用要求。


              主要部件材料


            閥體316L(VIM+VAR)
            膜片UNS N06022
            閥針316L(VIM+VAR)/ UNS N10276
            密封墊PCTFE / PI
            手柄ABS
            閥蓋316L


              工作條件


            進口壓力300psig
            出口壓力-25in Hg~0~30psig,30,60,100,150psig
            原壓變動1.3psig / 100psig
            工作溫度-10 ~ 60℃
            內(nèi)漏率≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
            外漏率≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
            流量系數(shù)1.1
            內(nèi)表面粗糙度Ra ≤ 0.1μm


              產(chǎn)品特點


            適用于 VMB、VMP
            提供 UNS N06022/UNS N10276 內(nèi)部件選項
            每臺減壓器進行單獨的壓力測試、功能測試、氦質(zhì)譜泄漏測試和顆粒物檢測
            內(nèi)部無彈簧,內(nèi)部死體積小,減少了顆粒物的存留
            束縛膜片結構,增加安全性


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