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應(yīng)用領(lǐng)域： ●實(shí)驗(yàn)分析 、科研開發(fā) ●集成電路制造 、MAMS ●單晶硅、多晶硅及硅外延 ●LED、TFT ●氮化鎵、碳化硅等 ●氣體吹掃、焊接 ●氨氣純化器應(yīng)用于科研院校 ●小型終端氫氣純化器應(yīng)用于高科技儀器公司 ●常溫使用 ●重復(fù)再生 ●雜質(zhì)脫除深度高 ●內(nèi)置微米過濾器，獨(dú)特結(jié)構(gòu)， 防止堵塞 ●可根據(jù)用戶需要定制各種型號(hào) ●使用成本低
8NP系列常規(guī)型號(hào)一覽表 | |||||||||||||
適用氣體 | N2、H2、O2、Ar、He、NH3、SiH4、HCL | ||||||||||||
處理量 | 5 | 10 | 20 | 30 | 50 | 100 | 150 | 200 | 300 | 500 | 800 | 1000 | |
長(zhǎng)度 | 120 | 150 | 225 | 220 | 200 | 385 | 465 | 360 | 508 | 760 | 600 | 716 | |
直徑 | 2’ | 2.5’ | 3’ | 4’ | 6’ | ||||||||
進(jìn)/出氣口接頭 | 1/4 VCR | 1/2 VCR |
使用壓力 | 1.0Mpa |
******氣體壓差 | 0.1 Mpa |
純化指標(biāo) | 單項(xiàng)雜質(zhì)＜1ppb |
使用壽命 | 六個(gè)月（返廠再生） |
? 可根據(jù)客戶要求，定制特殊型號(hào)產(chǎn)品。 | |
9NP系列常規(guī)型號(hào)一覽表 | ||||||||||||
適用氣體 | N2、H2、O2、Ar、He、NH3、SiH4、HCL | |||||||||||
處理量 | 5 | 10 | 20 | 30 | 50 | 100 | 150 | 200 | 300 | 500 | 800 | 1000 |
長(zhǎng)度 | 130 | 180 | 275 | 260 | 380 | 500 | 435 | 550 | 780 | 600 | 900 | 1100 |
直徑 | 2’ | 2.5’ | 3’ | 4’ | 6’ | |||||||
進(jìn)/出氣口接頭 | 1/4 VCR | 1/2 VCR | ||||||||||
使用壓力 | 1.0Mpa | |||||||||||
******氣體壓差 | 0.1 Mpa | |||||||||||
純化指標(biāo) | 單項(xiàng)雜質(zhì)＜0.1ppb | |||||||||||
使用壽命 | 六個(gè)月（返廠再生） | |||||||||||
? 可根據(jù)客戶要求，定制特殊型號(hào)產(chǎn)品。 | ||||||||||||
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