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9N系列純化器（0.1ppb）品牌
中鼎化學(xué)產(chǎn)地
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應(yīng)用領(lǐng)域：
適用于電子半導(dǎo)體、大規(guī)模集成電路、MAMS、單晶硅多晶硅及硅外延、LED、TFT、氮化鎵、碳化硅、科研開發(fā)、實驗分析等。
特點：
● 雙塔交替吸附再生，全自動連續(xù)運行
● EP級316L拋光不銹鋼管件
● 配置0.003μm過濾器，去除率可達(dá)99.9999999%
● 西門子 PLC 可接入DCS系統(tǒng)
● 安全報警功能完善
● 可提供遠(yuǎn)程云服務(wù)
● 超凈環(huán)境中生產(chǎn)組裝
● 氣體處理量10-20000Nm3/h
9N超純氣體純化器 | ||||||||||||||||
系列型號 | 適用氣體 | 原料氣指標(biāo) | 產(chǎn)品氣指標(biāo) | |||||||||||||
N2 | H2 | O2 | Ar | He | O2 | H2O | CO2 | CO | CH4 | H2 | N2 | 顆粒度 | ||||
9VV | ● | ● | ● | ● | ● | 5N | ≤0.1ppb | ≤0.1ppb | ≤0.1ppb | ≤0.1ppb | — | ≤0.1ppb | — | 0.003μm | ||
9OVV | ● | — | ● | ● | ● | 5N | ≤0.1ppb | ≤0.1ppb | ≤0.1ppb | ≤0.1ppb | ≤0.1ppb | ≤0.1ppb | — | 0.003μm | ||
9VVX | — | — | — | ● | ● | 5N | ≤0.1ppb | ≤0.1ppb | ≤0.1ppb | ≤0.1ppb | ≤0.1ppb | ≤0.1ppb | ≤0.1ppb | 0.003μm | ||
— | ● | — | — | — | ≤0.1ppb | ≤0.1ppb | ≤0.1ppb | ≤0.1ppb | ≤0.1ppb | — | ≤0.1ppb | 0.003μm | ||||
9X | — | — | — | ● | ● | 5N | ≤0.1ppb | ≤0.1ppb | ≤0.1ppb | ≤0.1ppb | ≤0.1ppb | ≤0.1ppb | ≤0.1ppb | 0.003μm | ||
— | ● | — | — | — | ≤0.1ppb | ≤0.1ppb | ≤0.1ppb | ≤0.1ppb | ≤0.1ppb | — | ≤0.1ppb | 0.003μm | ||||
注：常用流量規(guī)格：1-20000Nm3/h;常用壓力：1-20Mpa | ||||||||||||||||
暫無數(shù)據(jù)！
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