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E3500 SiC 缺陷檢測設(shè)備品牌
昂坤視覺產(chǎn)地
北京樣本
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E3500是針對SiC材料的缺陷檢測設(shè)備,可以檢測SiC襯底、同質(zhì)外延等的表面和熒光缺陷??梢詸z測并區(qū)分三角、carrot、downfall、micropipe、SF、BPD等缺陷。支持4@、6@、8@晶圓檢測,具有高產(chǎn)能、高檢測精度的優(yōu)點。
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