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適應(yīng)晶圓尺寸 Wafer Size

l Size: 4", 6" compatible

檢測(cè)缺陷類別 Defect types

l 常規(guī)檢測(cè):微觀亮/暗缺陷、宏觀亮/暗缺陷、刮傷(Scratch)、defocus、甩膠(SpinPR 及 Comet)、格線(Shotline)、 脫膠(Degumming)

l 帶有深度學(xué)習(xí)系統(tǒng)與神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)算法，可以對(duì)缺陷類別進(jìn)行精 準(zhǔn)分類

l 支持用戶定義或協(xié)商定制缺陷類別，但增加缺陷類別可能會(huì) 影響產(chǎn)能

PSS缺陷檢測(cè)設(shè)備采用自研光學(xué)鏡頭、高性能工業(yè)相機(jī)和高精度STAGE平臺(tái)，具備業(yè)界**的檢測(cè)性能，用于4@@、6@@ PR片、PSS片和藍(lán)寶石拋光片的缺陷檢測(cè)，具有鐳刻碼識(shí)別、缺陷檢測(cè)及分類、反射率測(cè)量及分類、缺陷riview、晶圓分檔和光刻膠厚度測(cè)量等功能。