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該設(shè)備為微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（MWCVD）。采用2.45GHz頻率微波源，激發(fā)穩(wěn)定的等離子體。電場(chǎng)激發(fā)模式為TM021模式，該系統(tǒng)可以穩(wěn)定生長(zhǎng)金剛石單晶材料、多晶晶圓。通過工藝調(diào)節(jié)，可以穩(wěn)定生長(zhǎng)出 2 英寸到3英寸的金剛石晶圓薄膜。
主要應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體襯底、熱沉片、珠寶、刀具、機(jī)械密封、新一代移動(dòng)通信、智能電網(wǎng)、消費(fèi)類電子等。
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