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該設(shè)備為微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（MWCVD）。采用2.45GHz頻率微波源，激發(fā)穩(wěn)定的等離子體。電場(chǎng)激發(fā)模式為TM021模式，該系統(tǒng)可以穩(wěn)定生長(zhǎng)金剛石單晶材料、多晶晶圓。
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