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            WG-1240 自動減薄機
            WG-1240 自動減薄機

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            型號

            WG-1240 自動減薄機

            品牌

            宏華電子

            產(chǎn)地

            廣東

            樣本

            暫無
            肇慶市宏華電子科技有限公司

            金牌會員

            |

            第1年

            |

            生產(chǎn)商

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            技術(shù)特點:

            ● 利用粗磨和精磨軌跡重合技術(shù),顯著提高了超薄晶圓磨削加工品質(zhì)的穩(wěn)定性,可實現(xiàn) 12 英寸晶圓厚度100μm 以下精密減薄;
            ● 雙主軸三工位全自動減薄機,可與單軸拋光機、保護膜處理設(shè)備組成聯(lián)機系統(tǒng),實現(xiàn)晶圓減薄到去應(yīng)力技術(shù)的一體化;配備自主、優(yōu)化的 12 英寸超精密空氣主軸和氣浮載臺;具備 SECS/GEM 聯(lián)網(wǎng)功能。

             

            性能指標(biāo):

            WG-1240自動減薄機
            磨削方式通過旋轉(zhuǎn)晶圓,實現(xiàn)縱向/橫向切入式磨削
            結(jié)構(gòu)方式1根主軸, 1個承片臺
            磨削尺寸
            mmMax.?300/Max.?200(Φ8″-Φ12″)
            主軸主軸數(shù)量-1
            主軸功率KW5.5
            主軸轉(zhuǎn)速rpm1000-6000
            Z軸行程mm120
            Z軸分辨率μm0.1
            承片臺裝片方式-真空吸附
            承片臺類型-多孔陶瓷式
            轉(zhuǎn)速rpm0-300
            數(shù)量1
            承片臺清洗方式-油石手動清洗
            承片臺Y向Y向加工行程mm400
            Y向進刀速度mm/s0.01-50
            Y軸快速位移速度mm/s100
            Y軸*小分辨率mm0.001
            減薄精度片內(nèi)厚度偏差μm≤4
            片間厚度偏差μm≤±4
            粗磨Ring環(huán)精度mm3±0.15
            設(shè)備外形尺寸WxD×Hmm860×1847×1741
            設(shè)備重量kg約1700

             


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            10分

            售后服務(wù)

            10分

            易用性

            10分

            性價比

            10分
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            宏華電子:高端裝備“智”造者,國產(chǎn)替代先鋒

            高端裝備制造作為國家產(chǎn)業(yè)升級和科技創(chuàng)新的關(guān)鍵產(chǎn)業(yè),正在引領(lǐng)全球經(jīng)濟的新一輪變革,它不僅代表著一個國家的工業(yè)實力,更是衡量其在全球產(chǎn)業(yè)鏈中位置的重要標(biāo)志。 根據(jù)國家知識產(chǎn)權(quán)局辦公室印發(fā)的《戰(zhàn)略

            技術(shù)文章
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