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EVG 540晶圓鍵合系統(tǒng)品牌
亞科電子產(chǎn)地
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產(chǎn)品簡介：
EVG 540是一款全自動單腔室晶圓鍵合系統(tǒng)，常用于中試線和晶圓級封裝、三維互聯(lián)和MEMS領(lǐng)域。
主要特點(diǎn)及參數(shù)：
·**支持12英寸（300mm）晶圓
·組合式鍵合室設(shè)計，可同時自動處理*多4個鍵合卡盤
·擁有獨(dú)立的底部冷卻系統(tǒng)
暫無數(shù)據(jù)！
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