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超環(huán)面光柵單色儀(TGM)系列是專為研究真空紫外光譜而開發(fā)設(shè)計(jì)。通過與單通道探測(cè)器相連，TGM300能分析軟X射線、極紫外、遠(yuǎn)紫外光譜。結(jié)合紫外光源，TGM300可充當(dāng)可調(diào)諧紫外單色光源。TGM300真空度高達(dá)10-9mbar， 是分析10-300nm光譜的理想工具。
技術(shù)特點(diǎn)
單片式光學(xué)結(jié)構(gòu)確保光通量**化，高光學(xué)穩(wěn)定性
HJY**的超環(huán)面光柵技術(shù)，全光譜范圍內(nèi)優(yōu)異的消像差能力
光譜覆蓋*低至10nm
支持超高真空度10-9mbar，可接入同步輻射裝置
典型應(yīng)用
極紫外反射測(cè)量
紫外可調(diào)濾波/光源
激光高次諧波
等離子體物理研究
技術(shù)指標(biāo)
三塊標(biāo)準(zhǔn)光柵可選 | |
550 gr/mm | 光譜范圍: 10 – 50 nm 中心波長(zhǎng): 15 nm |
550 gr/mm | 光譜范圍: 15 – 150 nm 中心波長(zhǎng): 35 nm |
275 gr/mm | 光譜范圍: 50 – 300 nm 中心波長(zhǎng): 55 nm |
光學(xué)設(shè)計(jì) | HJY**超環(huán)面消像差光柵 |
焦距 | 320 mm |
孔徑 | f/10 |
分辨率 | 0.4 nm (*) |
波長(zhǎng)驅(qū)動(dòng) | 手動(dòng) |
高真空 | 10-6 mbar |
真空泵法蘭 | DN100LF |
真空計(jì)法蘭 | DN40KF |
入射/出射狹縫 | 嵌入式 |
可選項(xiàng): | |
波長(zhǎng)驅(qū)動(dòng) | 步進(jìn)電機(jī)自動(dòng)驅(qū)動(dòng)，USB2接口 |
狹縫 | 測(cè)微或者自動(dòng) |
手動(dòng)光柵滑塊 | 真空中實(shí)現(xiàn)2塊光柵切換 |
超高真空 | 10-9 mbar |
(*) 采用550gr/mm光柵計(jì)算 | |
附件
前鏡腔，配備兩塊超環(huán)面鏡，實(shí)現(xiàn)光源和單色儀之間的光學(xué)匹配
后鏡腔，配備兩塊超環(huán)面鏡，實(shí)現(xiàn)單色儀和樣品室之間的光學(xué)匹配
樣品室，可搭載4塊直徑不大于25mm的樣品
偏振插片
制冷機(jī)，*低至4K
真空泵
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