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UVISEL2是一款完全革新的全自動(dòng)光譜型橢偏儀。繼承并發(fā)展了經(jīng)典機(jī)型UVISEL的高準(zhǔn)確性、高靈敏度和高穩(wěn)定性等技術(shù)特點(diǎn)的同時(shí)，配備革新的可視系統(tǒng)，多達(dá)8個(gè)尺寸微光斑選項(xiàng)，*小達(dá)35×85μm2，適用于所有薄膜材料研究領(lǐng)域。是目前市場(chǎng)上****的機(jī)型。

技術(shù)參數(shù)：

·光譜范圍：190-2100 nm

·8種光斑尺寸: *小35 X 85 um

·探測(cè)器：3個(gè)獨(dú)立探測(cè)器，分別優(yōu)化紫外，可見和近紅外

·自動(dòng)樣品臺(tái)尺寸：200mm X 200mm；XYZ方向自動(dòng)調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm

·樣品水平度自動(dòng)調(diào)整

·自動(dòng)量角器：變角范圍35°- 90°，全自動(dòng)調(diào)整，*小步長(zhǎng)0.01°

主要特點(diǎn)：

·完全自動(dòng)化設(shè)計(jì)，自動(dòng)對(duì)焦、校正

·全新光路、電路設(shè)計(jì)，測(cè)量精度更高，速度更快

·50KHz高頻PEM相調(diào)制技術(shù)，測(cè)量光路中無(wú)運(yùn)動(dòng)部件

·雙光柵光譜儀系統(tǒng)，雜散光抑制水平高

·8個(gè)尺寸微光斑，**可視技術(shù)

·自動(dòng)平臺(tái)樣品掃描成像