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2006年12月一推出，立刻受到高?？蒲袉挝粴g迎。

國內(nèi)用戶有 南京大學(xué)分析中心 上海師范大學(xué) 天津46所

技術(shù)參數(shù)：

3、儀器主機(jī)功能與附件功能

3.1 單色化XPS，Al Kα，包括：

大面積XPS、小面積XPS、成像XPS、深度剖析XPS和角分辨XPS。

3.2 雙陽極XPS，Mg/Al Kα

3.3 紫外光電子能譜，UPS

3.4 高壓反應(yīng)室

3.5 分析室樣品冷/熱臺(tái)

4、儀器主要部件

4.1 超高真空分析室

180度半球能量分析器，

電子透鏡傳輸系統(tǒng)，

１６多通道電子檢測(cè)器

分子泵，離子泵，鈦升華泵

　　　單色化XPS （AlKα）系統(tǒng)，含內(nèi)循環(huán)水冷卻裝置，

XPS成像系統(tǒng)，

雙陽極XPS系統(tǒng)，冷卻循環(huán)水和單色化系統(tǒng)共用

紫外光源，

荷電中和系統(tǒng)，用于絕緣樣品或?qū)щ娦圆畹臉悠返暮呻娧a(bǔ)償，

5軸樣品臺(tái)，

標(biāo)準(zhǔn)樣品托?。矀€(gè)

Recessed樣品托　1個(gè)

氬離子槍，用于深度剖析，

熱雙燈絲離子規(guī)，

閉路電視顯微彩色攝像系統(tǒng)和SXI成像系統(tǒng)，

分析室和進(jìn)樣室都有獨(dú)立光纖照明系統(tǒng)，

可觀察視窗，視窗直徑10cm左右，

樣品熱/冷臺(tái)，溫度可監(jiān)測(cè)。

4.2 樣品進(jìn)樣室

機(jī)械泵，分子泵 熱雙燈絲離子規(guī)，

可觀察視窗，視窗直徑10cm左右。

空氣壓縮機(jī)一臺(tái)，國內(nèi)采購

4.3 石英高壓反應(yīng)池

程序控溫系統(tǒng)

真空監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

真空泵系統(tǒng)

進(jìn)出氣系統(tǒng)，參考南京大學(xué)用戶設(shè)計(jì)建議。

壓力 一個(gè)大氣壓

全石英底座

密封材料 Byton O-ring

**溫度 600度

遠(yuǎn)紅外線加熱控溫系統(tǒng)

單獨(dú)石英反應(yīng)器冷卻系統(tǒng)

4 樣品磁耦合傳輸系統(tǒng)

4.5 真空烘烤系統(tǒng)

4.6 主機(jī)系統(tǒng)集成，減震裝置。

4.7 計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，含數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)處理軟件包。

4.8 與以上所有系統(tǒng)相關(guān)聯(lián)的電子學(xué)控制柜。

5、儀器主要技術(shù)參數(shù)與要求

5.1 儀器主機(jī)功能，單色化Al Kα

5.1.1 大面積XPS

Ag3d5/2，1400umx100um， FWHM≤1.00eV時(shí)，靈敏度≥1，000，000 cps。

Ag3d5/2，1400umx100um， FWHM≤0.60eV時(shí)，靈敏度≥250，000 cps。

5.1.2 小面積XPS，*小分析面積≤10μm ，性能指標(biāo)應(yīng)達(dá)到：

Ag3d5/2，20μm， FWHM≤0.60eV時(shí)，靈敏度≥15，000 cps。

Ag3d5/2，10μm， FWHM≤0.60eV時(shí)，靈敏度≥4，000 cps。

Ag3d5/2，10μm， FWHM≤1.00eV時(shí)，靈敏度≥12，000 cps。

Typical value for 100um and 20um at 75degree and 45degree

75degree

Ag3d5/2，20μm ， FWHM≤0.90eV時(shí)，靈敏度≥ 99kcps

Ag3d5/2，100μm ， FWHM≤0.90eV時(shí)，靈敏度≥ 47kcps

45degree

Ag3d5/2，20μm ， FWHM≤0.90eV時(shí)，靈敏度≥ 50kcps

Ag3d5/2，100μm ， FWHM≤0.90eV時(shí)，靈敏度≥ 27kcps

5.1.3 成像XPS

單色化X射線掃描成像，**空間分辨率≤10 μm。

5.1.4 深度剖析XPS

聚焦掃描氬離子槍，當(dāng)working distance為30 mm時(shí).聚焦氬離子束斑≤150μm，當(dāng)

working distance為60mm時(shí)候，聚焦氬離子束斑≤300μm束流密度≥0.5 mA/cm2。

5.2 儀器附件功能

5.2.1 雙陽極XPS，MgKα，Ag3d5/2，F(xiàn)WHM≤1.40eV時(shí)，靈敏度≥1，000，000 cps。

5.2.2 紫外光電子能譜（UPS）

(a) 光源：He紫外光源，HeI:HeII=3:1

(b) 性能指標(biāo)：分辨率（Ag費(fèi)米邊）≤120 meV時(shí)，靈敏度（Ag4d）≥2，000，000 cps。

(c) *小步長：5meV

5.2.3 高壓反應(yīng)室

(a) 材質(zhì)：石英

(b) 內(nèi)膽內(nèi)壓強(qiáng)：≥760Torr

(c) **溫度，≥600℃

(d) 氣體混合倉附計(jì)量裝置，包括壓力表、流量計(jì)和針閥等。

5.2.4 分析室樣品冷/熱臺(tái)，溫度：170 K–600 K，溫度可檢測(cè)，加熱PID控制。

5.3 儀器主要部件參數(shù)與要求：

5.3.1 能量分析器

(a) 類型：半球能量分析器

(b) XPS能量范圍： 0–1600 eV（25 meV）

UPS ：0～320 eV（5 meV）

5.3.2 超高真空分析室

(a) SUS材質(zhì)內(nèi)表面經(jīng)過特殊處理

(b) 真空：小于6.7×10-10 mbar

5.3.3 樣品進(jìn)樣室

(a) 材質(zhì)：非磁性不銹鋼材料

(b) 真空：小于6.7×10-9 mba

5.3.4 深度剖析氬離子槍

100eV–5keV，連續(xù)可調(diào)，掃描型。

5.3.5 荷電中和系統(tǒng)：雙槍中和系統(tǒng)。

5.3.6 樣品控制臺(tái)

(a) 軸向：5軸，

(b) 移動(dòng)：各向移動(dòng)距離必須與樣品臺(tái)尺寸相匹配，步進(jìn)步長小于1μm，

(c) 傾斜：0–90°

5.3.7 計(jì)算機(jī)系統(tǒng)

(a) Pentium IV，CPU主頻3.0GHz左右；

(b) 內(nèi)存2G， 硬盤250 G；

(c) ２個(gè)DVD/CD-RW Combo光盤驅(qū)動(dòng)器，

(d) 22" 液晶平板顯示器；

(e) 4個(gè)USB2.0接口；

(f) 100M以上以太網(wǎng)接口，用于數(shù)據(jù)傳輸；

(g) 預(yù)裝Windows XP正版軟件；

( h ) 預(yù)裝儀器操作軟件和數(shù)據(jù)分析軟件（含**的XPS數(shù)據(jù)庫），附安裝軟件光盤；

主要特點(diǎn)：

1.世界上****掃描微聚焦X-射線source

2..世界上****掃描微聚焦X-射線產(chǎn)生的2次電子成像SXI像和XPS成像，可以幫助客戶找到肉眼看不見的微觀缺陷。

3。可以給出10um XPS sensitivity.其他公司不能。20um 的XPS sensitivity是其他公司同類產(chǎn)品的1倍以上。