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TEBO兆聲波清洗設(shè)備品牌
盛美半導(dǎo)體產(chǎn)地
美國樣本
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TEBO----用于先進器件的清洗技術(shù)
智能兆聲波技術(shù)
使用便捷
精確控制
減少成本、保護環(huán)境
*多可配至12套清洗腔體, 產(chǎn)能可達375 片/小時
具有雙面清洗能力, *多可配至5種清洗藥液,工藝靈活
*多可以回收2種藥液
使用高溫IPA干燥技術(shù)
配備TEBO智能兆聲波組件
集成式藥液供給模塊,可供給DHF,SC1,SC2, 功能水,二氧化碳水等
暫無數(shù)據(jù)!