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Copolymer光刻膠是基于MMA和8.5%甲基丙烯酸的混合物。Copolymer(8.5) MAA并PMMA光刻膠堆疊，是常用在雙層剝離工藝實(shí)現(xiàn)獨(dú)立CD控制。標(biāo)準(zhǔn)Copolymer光刻膠被配制在乳酸乙酯和可提供寬范圍的粘度(薄膜厚度)。所有PMMA和Copolymer光刻膠的包裝：從500毫升到20升。
相關(guān)溶液：
1）顯影液：MIBK:IPA
2）去膠劑：Remover PG
3）稀釋劑：A Thinner
一般儲(chǔ)存溫度：
10-27℃
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