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PHYS TECH GmbH RH2035 霍爾效應(yīng)測試儀器
| 1. | 設(shè)備名稱： | 霍爾效應(yīng)測試儀 |
| 2. | 功能描述： | 測量半導(dǎo)體薄膜中載流子類型、載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等參數(shù) |
| 3. | 技術(shù)參數(shù)： | |
| 3-1 | 測試范圍： | Si， SiGe， SiC， GaAs， InGaAs， InP， GaN (N Type & P Type)等材質(zhì)的半導(dǎo)體薄膜中載流子類型、載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等參數(shù) |
| 3-2 | 磁場： | |
| 3-2-1 | 磁場強度： | 0.45T 永磁體 |
| 3-2-2 | 磁場類型： | 永磁體 |
| 3-2-3 | 磁場均勻性： | 磁場不均勻性＜±1 % 10年內(nèi)磁場變化＜±0.2% |
| 3-3 | 溫 度： | |
| 3-3-1 | 溫度區(qū)域： | 77K(液氮溫度)或室溫 |
| 3-4 | 電阻率范圍： | 1 µ Ohm*cm ~10 M Ohm*cm |
| 3-5 | 電阻范圍： | 0.1 m Ohms ~10 G Ohms |
| 3-6 | 載流子濃度： | 107~1021cm-3 |
| 3-7 | 遷移率： | 10-2~107 cm2/volt*sec |
| 3-8 | 輸入電流： | |
| 3-8-1 | 電流范圍： | 1000 pA~10mA |
| 3-8-2 | 電流解析度： | 2.5 pA (lowest range) |
| 3-8-3 | 電流精度： | 2% |
| 3-9 | 輸入電壓： | |
| 3-9-1 | 電壓范圍： | ±10V |
| 3-9-2 | 電壓分辨率： | 1μV |
| 4. | 儀器特點： | |
| 4-1 | Automatic contact check 自動接觸檢查(歐姆接觸) | |
| 4-2 | Routine and enhanced software 常規(guī)和增強軟件 | |
| 4-3 | Differential resistivity measurements by I/V-curves I/V曲線測試電阻率差異 | |
| 4-4 | Misalignment voltage compensation 失調(diào)電壓補償 | |
| 4-5 | Correction of slow sample drift voltage， especially for ZnO， 修正慢樣品漂移電壓，特別是氧化鋅 | |
| 4-6 | Automatic field calibration 自動現(xiàn)場標(biāo)定 | |
| 4-7 | Large concentration and resistivity range 大濃度和電阻率范圍 | |
| 4-8 | Flexible， modular hardware 靈活的模塊化硬件 | |
| 4-9 | Support of various magnets， for example BioRad HL 5200 支持多樣磁場 | |
| 4-10 | Support of various temperature controllers 支持各種溫度控制器(支持客戶自行升級變溫系統(tǒng)) | |
| 5 | 硬件 | |
| 5-1 | The standard system consists of a bench top electronic system， a small magnet and a sample stage for room temperature and LN2 measurements. 標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)包含電子測試系統(tǒng)、磁場和兩個溫度區(qū)域的測試平臺（室溫和液氮溫度） | |
| 5-2 | The electronics include the current source， the voltage measurement part， the contact switching module and the IEEE or RS232 interface. It is completely micro processor controlled. 電子測試系統(tǒng)包括由單片機控制的電流源、電壓測試、接觸開關(guān)模塊、IEEE或RS232接口 | |
| 5-3 | The contact switching module is designed to allow all possible measurement configurations. 接觸開關(guān)模塊支持所有用戶用于其他的配置(用戶可以采用制冷機做變溫霍爾測試) | |
| 5-4 | The current source has adjustable limits for voltage and/or power. {+++} 電流源具有可調(diào)電壓和/或電源的限制 | |
| 5-5 | Voltage measurement provides different input amplifiers optimized for either low current or low voltage applications. 電壓測量提供了不同的輸入放大器或低電流或低電壓應(yīng)用的優(yōu)化。 | |
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