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            日本PHL雙折射測量儀藍寶石專用
            日本PHL雙折射測量儀藍寶石專用

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            日本

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            北京歐屹科技有限公司

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            主要簡介:

            在PA系類設備的基礎上,加裝晶圓專用的裝置,可以高效精確的測量SIC和藍寶石這類光學性能特殊的產(chǎn)品的雙折射和殘余應力的信息。

            主要特點:
            • 操作簡單,測量速度可以快到3秒。

            • 視野范圍內(nèi)可一次測量,測量范圍廣。

            • 更直觀的全面讀取數(shù)據(jù),無遺漏數(shù)據(jù)點。

            • 具有多種分析功能和測量結果的比較。

            • 維護簡單,不含旋轉光學濾片的機構。

            • 高達2056x2464像素的偏振相機。

            應用領域:
            • SIC

            • 藍寶石

            技術參數(shù):

            項次 項目 具體參數(shù)
            1輸出項目相位差【nm】,軸方向【°】,相位差與應力換算(選配)【MPa】
            2測量波長520nm
            3雙折射測量范圍0-130nm
            4測量*小分辨率0.001nm
            5測量重復精度<1nm(西格瑪)
            6視野尺寸40x48mm到240x320mm(標準)
            7選配鏡頭視野不適用
            8選配功能 實時解析軟件,鏡片解析軟件,數(shù)據(jù)處理軟件,實現(xiàn)外部控制
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            售后服務

            10分

            易用性

            10分

            性價比

            10分
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