精品综合久久久久久97_亚洲国产精品久久久久婷婷老年_成人区人妻精品一区二区三区_国产精品JIZZ在线观看老狼_国产欧美精品一区二区三区

機種

UTS-2000

測量方式

FT/IR 干渉膜厚測量法

測量配置

反射、透過（選配）

樣品尺寸

20 × 20 ～ 1200 × 1200μm

顯示器

內(nèi)置CMOS相機確認(rèn)測量位置

　●測量范圍／精度

測量膜厚范圍

0.25μm～750μm（Siの場合）

測量膜厚再現(xiàn)性

0.005μm以下 (同一點繰返し測定時、Si の場合)

　●XY樣品臺

距離

200mm×200mm

驅(qū)動分辨率

2μm

　●數(shù)據(jù)處理部

對應(yīng)OS

Windows 7 Professional

控制裝置

JASCO光學(xué)管理器控制光學(xué)系統(tǒng)／控制XY樣品臺／控制搬送機（選配）