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            快速退火爐
            快速退火爐

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            German First-Nano System 德國韋氏納米

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            AS-One系統(tǒng)有兩種型號: AS-One 100 系統(tǒng)或AS-One 150 系統(tǒng)

            快速退火爐是專門為滿足大學、研究實驗室和小規(guī)模生產(chǎn)的需求而研制的,高可靠且性價比高。

            該工藝室采用貝殼式設(shè)計,可完全進入底板,方便裝載和卸載基板,并允許實際清潔腔體

            快速數(shù)字PID溫度控制器在整個溫度范圍內(nèi)提供精確和可重復(fù)的熱控制。

            特征
            基本尺寸:

            Up to 直徑100 mm (4-inch) for AS-One 100

            Up to 直徑150 mm (6-inch) for AS-One 150

            Small substrates using susceptors

            工藝腔體運用不銹鋼冷腔室壁技術(shù)
            溫度范圍標準配置:**達到1250°C

            高溫配置:**達到1450°C

            溫度控制

            標準配置:熱電偶和高溫計用來測量溫度

            快速數(shù)字PID溫度控制器在可獲得精確的和可重復(fù)的熱控制

            真空和氣體*多可達5路帶MFC的工藝氣體,一路清潔氣體
            電腦控制

            全PC電腦控制,每個配方*多100步驟

            全數(shù)據(jù)記錄與處理歷史的人機界面設(shè)計

            選項:

            石墨托盤/碳化硅涂層托盤/粗真空泵和渦輪泵/快速冷卻系統(tǒng)/其他套件

            應(yīng)用:

            ● 快速熱退火

            快速熱氧化

            擴散/接觸時退火

            化合物退火

            結(jié)晶或致密化

            我公司專業(yè)銷售Annealsys產(chǎn)品,并提供Annealsys產(chǎn)品的售前售后服務(wù),如您對Annealsys產(chǎn)品感興趣,歡迎前來咨詢!

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            10分

            易用性

            10分

            性價比

            10分
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