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立陶宛Workshop of Photonics公司從2003年進(jìn)入飛秒激光微加工領(lǐng)域,成為全球**的飛秒激光微加工設(shè)備以及解決方案提供商。
WOP主要業(yè)務(wù)包括:飛秒激光微加工可行性分析,定制飛秒激光系統(tǒng)和光學(xué)組件,激光微加工車間,激光微加工自動化軟件,定制激光系統(tǒng)和設(shè)備控制電路。
■ 飛秒激光加工系統(tǒng) FemtoFAB
FemtoFAB是一款工業(yè)用飛秒激光微加工設(shè)備。配置選定后,根據(jù)客戶特定激光加工應(yīng)用調(diào)試,包括對任何材料激光切割,激光劃片,激光鉆孔,3D激光銑削(使用的激光峰值功率>2.4GW)。系統(tǒng)使用Class 1激光安全防護(hù)罩,通過單個SCA工程軟件窗口控制。
FemtoFAB提供激光同步移動控制和/或集成掃描振鏡系統(tǒng)控制,對不同工業(yè)微加工應(yīng)用,提供**的速度和精度參數(shù)。產(chǎn)品在立陶宛設(shè)計和裝配。
產(chǎn)品特點:
●高加工速度,**350000px/s
●加工不同物體亞微米分辨率
●飛秒加工模式具有*小熱影響區(qū)
●直驅(qū)亞微米精度位移臺
●使用高性能掃描振鏡精細(xì)激光束控制
●點數(shù)控制(單點到350KHz)
●激光脈沖和移動物體在空間和時間上同步
●原版軟件界面控制所有集成的硬件設(shè)備
產(chǎn)品應(yīng)用:
●微光學(xué)
●光伏產(chǎn)業(yè)
●多光子聚合
●生物醫(yī)學(xué)技術(shù)傳感器
●其他精細(xì)微加工任務(wù)
樣品特性
材料 | 固體材料,液態(tài)聚合物 |
尺寸(mm) | 150×150×150 |
光束成型和控制 | |
脈沖選擇 | 集成、自動控制 |
掃描振鏡 | 10m/s掃描速度,5×5 |
聚焦 | 高NA非球面鏡或物鏡,焦長1.45-18.4mm |
SLM(選配) | 1920×1080,15.36mm×8.64mm,16bit,反射式 |
位置 | |
類型 | XYZ,線性電機(jī),交叉定位,空氣軸承(選配) |
加工速度 | 350mm/s |
工作區(qū)域(mm) | 160×160 |
分辨率(nm) | 1 |
位置精度(nm) | ±300 |
重復(fù)性(nm) | ±50 |
穩(wěn)定度(nm) | 3 |
樣品支架 | 真空夾頭 |
激光參數(shù) | |
激光介質(zhì) | Yb:KGW |
波長 | 1028±5nm |
功率(W) | 4(6,8,10選配) |
振蕩器輸出功率(W) | 0.7-1.5 |
脈沖能量(mJ) | 1 |
重頻(KHz) | 200(600,1000選配) |
脈寬 | <200fs-10ps(可調(diào));<80fs(振蕩器) |
光束質(zhì)量 | M2<1.2 |
輸出脈沖穩(wěn)定性 | <1%RMS |
諧波產(chǎn)生器 | |
諧波 | SH(515nm),TH(343nm)選配,F(xiàn)H(258nm)選配 |
轉(zhuǎn)換效率(@200KHz) | >50%(SH),>30%(TH)選配,>10%(FH)選配 |
諧波產(chǎn)生器 | |
功率控制 | 激光輸出,電動衰減器 |
位移臺控制 | 2.5D微加工,3D XYZ指令 |
控制界面 | 算法窗口,虛擬或GUI操縱桿 |
圖形或矢量格式 | .bmp,.plt |
暫無數(shù)據(jù)!