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進(jìn)口品牌渦輪分子泵和無油隔膜泵的**配合產(chǎn)生一個(gè)潔凈的<3*10-6 Torr的真空壓強(qiáng)。特別適用于TEM 樣品桿的真空存儲(chǔ)、檢漏和樣品等離子體清洗用途。采用遠(yuǎn)程射頻離子源清洗，高效、低等離子體轟擊損傷。標(biāo)配兩路清洗氣體流量控制器，觸摸屏控制，即插即用。
SPC真空等離子清洗系統(tǒng)能夠很好的活化TEM透射電鏡用微柵碳支持膜，使之在短時(shí)間內(nèi)（<10h）由疏水性變?yōu)橛H水性。
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