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            德國布魯克+DektakXT+臺階儀
            德國布魯克+DektakXT+臺階儀

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            探針式輪廓儀新標桿-升級到**性能

            德國布魯克 DektakXT 臺階儀(探針式表面輪廓儀)是一項創(chuàng)新性的設(shè)計,可以提供更高的重復性和分辨率。臺階儀這項性能的提高達到了過去四十年Dektak技術(shù)創(chuàng)新的頂峰,更加鞏固了其行業(yè)**地位。不論應(yīng)用于研發(fā)還是產(chǎn)品測量,通過在研究工作中的廣泛使用,DektakXT一定能夠做到功能更強大,操作更簡易,檢測過程和數(shù)據(jù)采集更完善。第十代DektakXT臺階儀(探針式表面輪廓儀)的技術(shù)突破,使納米尺度的表面輪廓測量成為可能,從而可以廣泛的應(yīng)用于微電子器件,半導體,電池,高亮度發(fā)光二極管的研發(fā)以及材料科學領(lǐng)域。

            薄膜測試—確保高產(chǎn)

            在半導體制造中嚴密監(jiān)測沉積和蝕刻比率均勻性,薄膜應(yīng)力,能節(jié)省大量時間和**。薄膜的不均勻或太大的應(yīng)力會導致地產(chǎn)及成品性能欠佳。DektakXT能方便快捷地設(shè)置和運行自動多點測試程序來檢驗晶片薄膜的精確厚度,達到納米級別。DektakXT****的重現(xiàn)性提供給工程師精確的薄膜厚度和應(yīng)力測試,來精確調(diào)節(jié)蝕刻和沉積以提供收益

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            40多年不斷創(chuàng)新

            建立在40多年的探針輪廓技術(shù)創(chuàng)新的知識和經(jīng)驗之上—**部薄膜測試儀,在**部基于微處理器的輪廓儀,和**部300mm自動輪廓儀DektakXT繼承了以往的“**”。新的DektakXT是首部single-arch設(shè)計的探針輪廓儀,首部內(nèi)置真彩高清光學攝像機,及安裝64-bit并行處理架構(gòu)已獲得**測量及操作效率的探針輪廓儀

            全球有超過一萬臺設(shè)備,品牌Dektak以質(zhì)量、可靠性及高性價比著稱。當需要臺階高度、表面粗糙度的精確、可靠測量時,人們就會借助Dektak。引進DektakXT,Bruker能讓您進一步獲得可靠及高效的表面測量

            提高數(shù)據(jù)采集和分析速度

            利用獨特的直接驅(qū)動掃描平臺,Dektak XT減少了掃描間的時間,而沒有影響分辨率和北京噪聲。這一改進大大提高了大范圍掃描3D形貌或者對于表面應(yīng)力長程掃描(就探針輪廓儀而言,通常是耗時的)的掃描速度。在保證行業(yè)**的質(zhì)量和重現(xiàn)性前提下,DektakXT可以將數(shù)據(jù)采集處理的速度提高40%。另外,DektakXT采用Bruker64-bit數(shù)據(jù)采集分析同步操作軟件Vision64,它可以提高大范圍3D形貌圖的高數(shù)據(jù)量處理速度,并且可以加快濾波器的工作速度和多模式掃描是的數(shù)據(jù)分析。Vision64還具有行業(yè)內(nèi)***的直觀用戶界面,簡化了實驗操作設(shè)置,自動完成多掃描模式,讓重復和常規(guī)的實驗操作變得更快速簡潔。

            實現(xiàn)測量的可重現(xiàn)性

            DektakXT的**設(shè)計使其在測量臺階高度重現(xiàn)性方面具有優(yōu)異的表現(xiàn),臺階高度重現(xiàn)性可優(yōu)于4埃。使用single-arch結(jié)構(gòu)比原先的懸臂梁設(shè)計更加穩(wěn)固,降低了對不利環(huán)境條件的敏感性,如聲音和震動噪音

            應(yīng)用行業(yè):觸摸屏、半導體、太陽能、超高亮度發(fā)光二極管(LED)、醫(yī)學、材料科學、高校、研究所、微電子、金屬等行業(yè)實現(xiàn)納米級表面形貌測量

            臺階儀Dektak XT能實現(xiàn):

            無可匹敵的性能,臺階高度重現(xiàn)性低于4埃

            Single-arch設(shè)計提供具突破性的掃描穩(wěn)定性

            先進的“智能電子器件”設(shè)立了新低噪音基準

            新硬件配置使數(shù)據(jù)采集時間縮短40%

            64-bit,Vision64同步數(shù)據(jù)處理軟件,使數(shù)據(jù)分析速度提高了10倍

            頻率**,操作簡易

            直觀的Vision64用戶界面,操作簡易

            針尖自動校準系統(tǒng),****的價值

            布魯克(Bruker)以實惠的配置實現(xiàn)**的性能

            單傳感器設(shè)計,提供單一平面上低作用和寬掃描范圍

            規(guī)格:

            測量技術(shù):探針輪廓儀DEKTAK XT

            測量功能:二維表面輪廓測量/可選三維測量

            樣品視景:可選放大倍率,1to4mmFOV

            探針傳感器:低慣量傳感器(LIS3)

            探針壓力:使用LIS3傳感器:1至15mg

            探針選項:探針曲率半徑可選范圍:50nm至25μm;高徑比(HAR)針尖:10μm×2μm和200μm×20μm;可按客戶要求定制針尖

            樣品X/Y載物臺:手動X-Y平移:100mm(4英寸);機動X-Y平移:150mm(6英寸)

            樣品旋轉(zhuǎn)臺:手動,360°旋轉(zhuǎn);機動,360°旋轉(zhuǎn)

            計算機系統(tǒng):64-bit多核并行處理器,Windows7;Optional23英寸平板顯示器

            軟件:Vision64操作及分析軟件;應(yīng)力測量軟件;縫合軟件;三維掃描成像軟件

            減震裝置:減震裝置可用

            掃描長度范圍:55mm(2英寸)

            每次掃描數(shù)據(jù)點:*多可達120000數(shù)據(jù)點

            **樣品厚度:50mm(2英寸)

            **晶圓尺寸:200mm(8英寸)

            臺階高度重現(xiàn)性:<4埃,1sigma在1μm垂直范圍下)

            輸入電壓:100-240VAC,50-60Hz

            溫度范圍,運行范圍:20到25℃

            濕度范圍:≤80%,無冷凝

            系統(tǒng)尺寸及重量:455mmW×550mmD×370mmH(17.9in.W×22.6in.D×14.5in.H);34公斤(75磅);附件:550mmL×585mmW×445mmH(21.6in.L×23in.E×17.5in.H);21.7公斤(48磅

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