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            科晶+真空CVD系統(tǒng)+ OTF-1200X-HVC
            科晶+真空CVD系統(tǒng)+ OTF-1200X-HVC

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            安徽

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            上海繪吉電子科技有限公司

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            OTF-1200X--HVC是由OTF-1200X-單溫區(qū)管式爐,二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成。其**工作溫度可達(dá)1200℃,極限真空度可達(dá) to 10^-5 torr?;鞖庀到y(tǒng)可以對兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。

            技術(shù)參數(shù)
            OTF-1200X系列 管式爐殼體結(jié)構(gòu)

            ● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷.使得殼體表面的溫度小于60度

            ●內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命

            爐管

            ● 材質(zhì): 高純石英管

            ● 石英管包含在內(nèi)

            ● 可以選擇其他管徑

            功率2.5KW
            工作電壓AC 208-240V 單相, 50/60Hz
            加熱元件Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo,(電阻絲表面涂有氧化鋯涂層,**程度的延長加熱元件的使用壽命)
            工作溫度

            ● **工作溫度.: 1200°C

            ● 連續(xù)工作溫度: 1100°C

            加熱速率加熱速率: 1~20°C/min 可編程
            加熱區(qū)長度

            ● 總加熱區(qū)長度: 440mm

            ● 恒溫區(qū)長度. : 150mm (±1°C)注:由于測量手段及外部環(huán)境的影響,測量結(jié)果可能會有偏差,此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),請與我公司銷售人員聯(lián)系

            控溫系統(tǒng)

            ● PID自動控制方式,可設(shè)置30段升降溫程序

            ●控溫儀表操作視頻

            ● 控溫精度: ±1°C

            ● 熱電偶: K 型已經(jīng)安裝在爐內(nèi)

            真空密封

            ● 一對不銹鋼真空密封法蘭,已經(jīng)安裝

            ● 法蘭上已經(jīng)安裝機(jī)械壓力表

            ● 一對精密針閥

            ● KF-40 的抽氣接口

            功率100~110W
            工作電壓AC 208-240V , 50/60Hz
            高真空機(jī)組殼體

            ● 殼體尺寸:600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm

            ● **承載量:600 Lbs on topf

            ● 分子泵顯示屏: LCD 數(shù)字顯示

            ● 內(nèi)裝有一Pfeiffer vacuum pump made in Germany:

            抽氣速率

            ● N2 33 L/s

            ● He 39 L/s (2340L/minute)

            ● H2 32 L/s

            工作范圍1000 mbar to <1E-7 mbar
            極限<1E-8 mbar (無泄漏)
            質(zhì)量流量控制器殼體

            ● 采用 316不銹鋼制作

            ● 混氣箱尺寸: Φ80X120mm

            ● 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm

            功率18W
            工作電源AC 208-240V, Single phase, 50/60Hz
            開門斷電

            為保證使用安全,該電爐為開門斷電設(shè)計

            質(zhì)保期一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管密封圈加熱元件等易耗件
            質(zhì)量認(rèn)證● CE 認(rèn)證

            所有電器元件(>24V)都通過 UL / MET / CSA 認(rèn)證

            若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國 TUV 認(rèn)證或 CAS 認(rèn)證

            使用注意事項(xiàng):

            爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

            由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

            當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)

            進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

            石英管的長時間使用溫度<1100℃

            對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

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