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            1200低真空CVD系統(tǒng)
            1200低真空CVD系統(tǒng)

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            簡介

            1200℃低真空CVD系統(tǒng)是由滑動式管式實驗電爐,混氣系統(tǒng),真空及壓力系統(tǒng)等組成。此系統(tǒng)燒結溫度可達1200℃,通過滑動爐體來實現(xiàn)快速的升降溫;配置不同的真空系統(tǒng)來達到理想的真空度;同時通過三路高精度質量流量計控制不同氣體。是為石墨烯生長、研發(fā)的專用爐,也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗。

            主要技術參數(shù)

            爐體結構

            整機采用SUS304不銹鋼材質,流線型外觀,斷熱式結構;

            日本技術真空吸附成型的優(yōu)質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好;

            爐子底部裝有一對滑軌,移動平穩(wěn);

            爐子可以手動從一端滑向另一端,實現(xiàn)快速的加熱和冷卻;

            支撐兩端安裝油壓緩沖器;

            爐蓋可開啟,可以實時觀察加熱的物料

            尺寸重量

            1240*600*1340mm;170kg

            電源

            電壓:AC220V 50/60Hz;功率:4KW

            爐管

            高純石英管,高溫下化學穩(wěn)定性強,耐腐蝕,熱膨脹系數(shù)極小;

            尺寸:Φ60/80/100*1200mm

            法蘭及支撐

            SUS304不銹鋼快速法蘭,通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空;

            一個卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷;

            可調節(jié)的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐;

            包含進氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合。

            加熱系統(tǒng)

            加熱元件采用優(yōu)質合金絲,表面負荷高、經久耐用; 加熱區(qū)長度:300mm;恒溫區(qū)長度:150mm; 工作溫度:≤1150℃; **溫度:1200℃;

            升溫速率:推薦≤10℃/min,*快升溫速度30℃/min

            溫控系統(tǒng)

            日本富士儀表,64段控溫程序,可分步、分段; 測溫元件:N型熱電偶; 控溫精度:±1℃

            混氣系統(tǒng)

            三路質量流量計:數(shù)字顯示、氣體流量自動控制

            內置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥

            管路采用不銹鋼管,接口為Φ6卡套

            每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥

            通過控制面板上的旋鈕來調節(jié)氣體流量

            流量規(guī)格:0~1SLM 流量精度:±1.5%

            真空系統(tǒng)

            采用雙極旋片真空泵,真空度可達10Pa

            可選配件

            高真空系統(tǒng),各種剛玉、石英坩堝,石英管,計算機控制軟件

            保修期

            整機一年保修(相關耗材除外)

            可根據(jù)客戶要求定制!

            特色與優(yōu)勢

            1.滑動式爐體結構實現(xiàn)快速升降溫;

            2.開啟式爐蓋設置,降低沉積溫度、加快沉積速度;

            3.日本富士溫控儀表,64段控溫程序,可分布,分段,三路質量流量計,數(shù)字顯示精確控制氣體流量;

            4.雙極旋片真空泵+分子泵,實現(xiàn)對真空度的不同要求,極限真空可達4.0*10-4Pa。

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            10分

            售后服務

            10分

            易用性

            10分

            性價比

            10分
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            1200低真空CVD系統(tǒng)信息由上海煜志科技有限公司(杭州嘉悅智能設備有限公司)為您提供,如您想了解更多關于1200低真空CVD系統(tǒng)報價、型號、參數(shù)等信息,歡迎來電或留言咨詢。
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