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簡介
YG-1706I-CVD系統(tǒng)由YG-1706管式爐、三路浮子混氣系統(tǒng)、內置測溫系統(tǒng)及真空系統(tǒng)等組成。真空泵采用雙極旋片真空泵，真空度可達到5x10-1Torr；內置測溫系統(tǒng)可實時監(jiān)測反應管內的溫度變化。適用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備、納米線生長等場所。同時煜志良好的售后服務，使得該產品的整體評價遠超同行業(yè)標準。
主要技術參數(shù)
YG-1706 真空管式爐 | 雙層爐殼間配有風冷系統(tǒng)，有效保證外殼表面溫； 日本技術真空吸附成型的優(yōu)質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好 加熱元件采用進口優(yōu)質U型硅鉬棒，表面負荷高，大大提高了其使用壽命 |
電壓 | AC220V 50Hz/60Hz；功率：6kW |
爐管 | 采用99氧化鋁剛玉管，致密度高，經久耐用，不易斷裂 尺寸：Φ40/60/80*1000mm 4個氧化鋁管堵 |
法蘭及支撐 | SUS304不銹鋼快速水冷法蘭，長期水冷無腐蝕 一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷 可調節(jié)的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐 包含進氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合，4個密封硅膠圈等 |
加熱系統(tǒng) | 加熱元件：6根U型硅鉬棒 加熱區(qū)長度：280mm 恒溫區(qū)長度：100mm 工作溫度：≤1600℃ **溫度：1650℃ 升溫速率：≤10℃/min |
溫控系統(tǒng) | 溫度控制采用人工智能調節(jié)技術，具有PID調節(jié)、自整定功能 50段升降溫程序 測溫元件：B型雙鉑銠熱電偶 恒溫精度：±1℃ |
三路浮子 混氣系統(tǒng) | 三路浮子流量計配置在移動工作臺上，可以同時通入三路不同的氣體 ； 內置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥； 管路采用聚四氟乙烯軟管，耐溫耐腐； 每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥； 流量規(guī)格：0.3-3L/min； 控制精度：±5%. |
低真空系統(tǒng) | 采用雙極旋片真空泵，真空度可達5x10-1 Torr 不銹鋼充油真空壓力表，良好的抗震性 |
內置測溫系統(tǒng) | 測溫元件可從加熱區(qū)邊緣延伸至溫區(qū)中心 法蘭密封，保證爐管的密封性 測溫元件：B型雙鉑銠熱電偶 |
尺寸 | 高溫爐：660*580*910mm 混氣移動工作臺：800*540*720mm |
可選配件 | HQZ混氣系統(tǒng)，中、高真空系統(tǒng)，各種剛玉坩堝，剛玉管，計算機控制軟件，無紙記錄儀，氧含量分析儀，冷卻水循環(huán)機等。 |
可根據(jù)客戶要求定制！
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