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        多功能高級磁控濺射噴金儀—nanoEM
        
		
        
		
		
        
			
        
			
        
				
        
					
        多功能高級磁控濺射噴金儀—nanoEM
        
					
        						
        
													
        
					
        
				
        
				
        					
        
						
        
							
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        多功能高級磁控濺射噴金儀—nanoEM
        nanoEM是Moorfield Nanotechnology推出的一款高精度的磁控濺射噴金儀。該系統(tǒng)可配備SEM樣品托、TEM網(wǎng)、普通樣品等多種專用樣品臺，滿足各種高精度的噴金或電極生長需求。除了濺射金屬電極外，nanoEM還具有極大的拓展空間，雖然作為臺式設(shè)備，nanoEM配備了輸出功率可達300W的濺射源，系統(tǒng)還可選擇樣品臺旋轉(zhuǎn)、樣品傾斜、自動壓強控制等多種功能。豐富的選件和配置可以滿足學術(shù)研究的多種樣品生長需求，可升級成為一臺多功能的磁控濺射薄膜制備系統(tǒng)。該設(shè)備作為靈活的高精度金屬濺射儀備受各大實驗室的青睞。
        主要特點：
        ◎  能夠達到學術(shù)研究級的多功能噴金儀
        ◎  SEM托、TEM網(wǎng)、普通樣品多種專用樣品臺可選
        ◎  可安裝兩個2英寸濺射源
        ◎  通用的濺射靶材
        ◎  本底真空<5×10-7 mbar
        ◎  流量計精確控制生長氣氛
        ◎  可調(diào)式DC濺射源，輸出功率可達300W
        ◎  全自動，引導(dǎo)式觸屏控制
        ◎  完備的安全性設(shè)計
        ◎  易于維護
        ◎  兼容超凈室
        ◎  穩(wěn)定的性能表現(xiàn)
        系統(tǒng)選件：
        ◎  腔體視窗
        ◎  真空泵型號可選
        ◎  氣壓全自動控制系統(tǒng)
        ◎  濺射源擋板
        ◎  等離子體輝光電極
        ◎  樣品臺旋轉(zhuǎn)與傾斜
        ◎  晶振膜厚監(jiān)測系統(tǒng)
        					
        
					
					
        
						
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