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型號

S-9210

光斑直徑， 毫米

10，12

**掃描角度

±12.5°

小步長階躍響應(yīng)時間（1）， （ms）

0.22

誤差跟蹤時間（ms)

0.12

轉(zhuǎn)動慣量 ，g*cm2 ，±10%

0.25

力矩常量dyne·cm/amp，±10%

0.7*105

**平均工作電流（A/單軸）

2.5

峰值電流（A）

15

零點漂移（μRad/℃）

<15

比例漂移（ppm/℃）

<50

線性度（2）

≥99.90%

重復精度（μRad.）

<8

長時間漂移（連續(xù)工作8小時）（mrad）

<0.5

工作環(huán)境溫度

25℃±10℃

重量（不含電纜）（g）

125

備注：

l 所有角度均為機械角

l 所有參數(shù)為上電1分鐘后測得

（1）配該型號電機所能帶載的*小Y軸鏡片，響應(yīng)至滿幅度的1%；

（2）指在±20° 光學角范圍內(nèi)的線性度

型號

S-9210M ， S-9210A/D

光斑直徑， 毫米

10

12

**掃描角度

±12.5°

有效掃描角度

±12.5°

可承受**激光功率（W）

Nd:YAG@1064nm

120

150

CO₂

70

100

小步長階躍響應(yīng)時間， （ms）

0.22

誤差跟隨時間， （ms）

0.12

標刻速度 (2)（m/s）

4

3

定位速度 (2)（m/s）

18

12

定位速度 (3)cps

好質(zhì)量

800

680

高質(zhì)量

690

520

零點漂移（μRad/℃）

<15

比例漂移（ppm/℃）

<50

長時間漂移（連續(xù)工作8小時）（mrad）

<0.5

線性度(4)

≥99.90%

重復精度（μRad.）

<8

**平均工作電流（A/單軸）

2.5

峰值電流（A）

15

輸入信號接口

XY2-100 或模擬 ±5V， ±10V

輸入電源

±24 VDC±10%，Max. RMS 3.5A/軸

工作環(huán)境溫度

25℃±10℃

主要應(yīng)用領(lǐng)域

高速精密打標，飛行打標

激光調(diào)阻，科研

備注：

l 所有角度均為機械角

l 所有參數(shù)為上電1分鐘后測得

（1）配該型號電機所能帶載的*小Y軸鏡片，響應(yīng)至滿幅度的1%；

（1）使用焦距F=160mm透鏡測得；

（2）透鏡F=160mm，標刻由字母和數(shù)字組成的1mm高的單線字；

（4）指在±20° 光學角范圍內(nèi)的線性度