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型號(hào)

S-9320

光斑直徑， 毫米

15 ， 20

**掃描角度

±12.5°

小步長(zhǎng)階躍響應(yīng)時(shí)間（1）， （ms）

0.4

誤差跟蹤時(shí)間（ms)

0.22

轉(zhuǎn)動(dòng)慣量 ，g*cm2 ，±10%

1.9

力矩常量dyne·cm/amp，±10%

1.9*105

**平均工作電流（A/單軸）

4

峰值電流（A）

20

零點(diǎn)漂移（μRad/℃）

<15

比例漂移（ppm/℃）

<50

線性度（2）

≥99.90%

重復(fù)精度（μRad.）

<8

長(zhǎng)時(shí)間漂移（連續(xù)工作8小時(shí)）（mrad）

<0.5

工作環(huán)境溫度

25℃±10℃

重量（不含電纜）（g）

235

備注：

l 所有角度均為機(jī)械角

l 所有參數(shù)為上電1分鐘后測(cè)得

（1）配該型號(hào)電機(jī)所能帶載的*小Y軸鏡片，響應(yīng)至滿幅度的1%；

（2）指在±20° 光學(xué)角范圍內(nèi)的線性度

型號(hào)

S-9320M ， S-9320A/D

光斑直徑， 毫米

15

20

**掃描角度

±12.5°

有效掃描角度

±12.5°

可承受**激光功率（W）

Nd:YAG@1064nm

200

300

CO₂

150

200

小步長(zhǎng)階躍響應(yīng)時(shí)間， （ms）

0.4

誤差跟隨時(shí)間， （ms）

0.22

標(biāo)刻速度 (2)（m/s）

3

3

定位速度 (2)（m/s）

10

8

定位速度 (3)cps

好質(zhì)量

600

500

高質(zhì)量

450

360

零點(diǎn)漂移（μRad/℃）

<15

比例漂移（ppm/℃）

<50

長(zhǎng)時(shí)間漂移（連續(xù)工作8小時(shí)）（mrad）

<0.5

線性度(4)

≥99.90%

重復(fù)精度（μRad.）

<8

**平均工作電流（A/單軸）

4

峰值電流（A）

20

輸入信號(hào)接口

XY2-100 或模擬 ±5V， ±10V

輸入電源

±24 VDC±10%，Max. RMS 3.5A/軸

工作環(huán)境溫度

25℃±10℃

主要應(yīng)用領(lǐng)域

激光標(biāo)刻，激光焊接，切割，鉆孔

備注：

l 所有角度均為機(jī)械角

l 所有參數(shù)為上電1分鐘后測(cè)得

（1）配該型號(hào)電機(jī)所能帶載的*小Y軸鏡片，響應(yīng)至滿幅度的1%；

（2）使用焦距F=160mm透鏡測(cè)得；

（3）透鏡F=160mm，標(biāo)刻由字母和數(shù)字組成的1mm高的單線字；

（4）指在±20° 光學(xué)角范圍內(nèi)的線性度