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氧化亞硅真空蒸餾爐品牌
湖南烯瑞產(chǎn)地
湖南樣本
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氧化亞硅真空蒸餾爐
設(shè)備用途:
氧化亞硅氣相沉積包覆爐,是利用真空蒸鍍法將粉碎后的所得元素?fù)诫s金屬硅與二氧化硅通過真空蒸鍍工藝,制得元素?fù)诫s氧化亞硅。
設(shè)備特點:
1、本公司自行設(shè)計生產(chǎn)的氧化亞硅氣相沉積包覆爐有兩種加熱方式(感應(yīng)加熱、電阻加熱和中頻感應(yīng)加熱),內(nèi)部各溫區(qū)溫差 在±5℃以內(nèi),能有效保證物料在內(nèi)腔內(nèi)的反應(yīng)溫度均勻。加熱端溫度≤1400℃,收集區(qū)溫度≤900℃。能充分滿足客戶用于氧化亞硅等可氣相沉積材料的燒結(jié)工藝。
2、設(shè)備采用熱電偶接觸式測溫控溫精度高,高溫真空度好,物料收集率高,具備物料烘干、燒結(jié)、收集于一體等特點,其物料反應(yīng)充分、收集率高等特點。
3、真空采用三級真空機組,油擴散泵+羅茨泵+機械泵+真空閥門,以及我公司自行生產(chǎn)設(shè)計的真空過濾系統(tǒng)組成,具有真空度高,設(shè)備能在高溫、高真空環(huán)境中長期使用。
產(chǎn)品介紹:
爐型結(jié)構(gòu) | 臥式 | ||
恒溫區(qū)尺寸(mm)(可按客戶需求定制) | 7500mm*600mm | 600mm*800mm | 700mm*1000mm |
爐體 | 由內(nèi)外雙層水冷結(jié)構(gòu),與冷卻水接觸部分采用 304 不銹鋼制作,有效防止?fàn)t體長時間使用漏氣現(xiàn)象 | ||
升華系統(tǒng) | 由加熱區(qū)和收集區(qū)組成,加熱區(qū)由感應(yīng)線圈、重質(zhì)剛玉、石墨硬鉆、等靜壓石墨組成,收集區(qū)由 310S不銹鋼及保溫層組成 | ||
溫控系統(tǒng)) | 采用 PLC觸屏集中控制方式,自動化控制,帶網(wǎng)口,可實現(xiàn)遠(yuǎn)程控制 | ||
加熱系統(tǒng) | 采用感應(yīng)加熱,電源采用GBT 節(jié)能型電源,噪音小,比傳統(tǒng)晶聞管電源節(jié)能 15%左右 | ||
真空系統(tǒng) | 由多級真空泵、真空閥,壓力控制器及管路組成 | ||
冷卻系統(tǒng) | 配置閉式冷卻系統(tǒng),內(nèi)循環(huán)用去離子水,不會造成設(shè)備管路結(jié)垢,內(nèi)循環(huán)水損失小,外循環(huán)用自來水自動補水,風(fēng)機自啟動散熱,散熱效果好,集成環(huán)保,占地面積小等特點 | ||
設(shè)備由升華系統(tǒng)、收集系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、機械系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)組成 |
暫無數(shù)據(jù)!