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        臥式化學氣相沉積爐(碳化硅)
        臥式化學氣相沉積爐(碳化硅)

        參考價格

        100-150萬元

        型號

        HCVD-060609-C

        品牌

        頂立科技

        產(chǎn)地

        湖南長沙

        樣本

        暫無
        湖南頂立科技股份有限公司

        金牌會員

        |

        第12年

        |

        生產(chǎn)商

        工商已核實

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        核心參數(shù)
        • 非金屬電熱元件:

          其他
        • 金屬電熱元件:

          其他
        • 燒結(jié)氣氛:

          真空
        • 溫控精度:

          ±7.5
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          1500
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        化學氣相沉積爐(碳化硅)可用于以硅烷為氣源的材料表面抗氧化涂層、基體改性等。

         

        技術(shù)特征

         

        ☆ 采用先進的控制技術(shù),能精密控制MTS的流量和壓力,爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,壓力波動范圍小;
        ☆ 采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室,密封效果好,抗污染能力強;
        ☆ 采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;
        ☆ 對沉積產(chǎn)生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產(chǎn)物能進行有效處理;
        ☆ 采用**設(shè)計防腐蝕真空機組,持續(xù)工作時間長,維修率極低。

         

        產(chǎn)品規(guī)格

         

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        主要配置

         

        ☆ 爐門:絲桿升降/液壓升降/手動升降;旋轉(zhuǎn)移開/平行移開(大尺寸爐門);手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊 

        ☆ 爐殼:全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
        ☆ 爐膽:軟碳氈/軟石墨氈/硬質(zhì)復合氈/CFC
        ☆ 加熱器、馬弗:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨
        ☆ 工藝氣路系統(tǒng):體積/質(zhì)量流量計
        ☆ 熱電偶:K分度號/N分度號/C分度號/S分度號

          


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