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產(chǎn)地
加拿大樣本
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激光源產(chǎn)生的紫外/軟X射線輻射是Tingen在激光實(shí)驗(yàn)室開發(fā)的,由高脈沖能量YAG激光器(1064nm,800mJ,7ns)聚焦于氣體電離產(chǎn)生。不同的目標(biāo)氣體對(duì)應(yīng)不同的能譜分布。
產(chǎn)品特點(diǎn)
● 低殘留
● 高EUV能量(3.5 MJ)
● *低耗氣量(氣體脈沖持續(xù)時(shí)間:<1 ms)
● 簡(jiǎn)單目標(biāo)氣體交換
● 桌面系統(tǒng)
產(chǎn)品應(yīng)用
● 計(jì)量:反射測(cè)量、吸收
● 光譜學(xué)(nexafs)
● 光學(xué)/傳感器測(cè)試
● EUV損壞調(diào)查
● 材料相互作用基礎(chǔ)研究
● 水窗顯微鏡(λ=2..4納米)
技術(shù)參數(shù)
測(cè)試數(shù)據(jù)展示
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