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            1200℃雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)
            1200℃雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)

            參考價(jià)格

            20-30萬(wàn)元

            型號(hào)

            1200℃雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)

            品牌

            中環(huán)

            產(chǎn)地

            天津

            樣本

            暫無(wú)
            天津中環(huán)電爐股份有限公司

            金牌會(huì)員

            |

            第11年

            |

            生產(chǎn)商

            工商已核實(shí)

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            產(chǎn)品用途:

            此款CVD生長(zhǎng)系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。

            產(chǎn)品組成:

            此款CVD系統(tǒng)配置:

            1.1200度開(kāi)啟式真空管式爐(可選配單溫區(qū)、雙溫區(qū))。

            2.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

            3.真空系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)     

            產(chǎn)品特點(diǎn):

            1 控制電路選用模糊PID程控技術(shù),該技術(shù)控溫精度高,熱慣性小,溫度不過(guò)沖,性能可靠,操作簡(jiǎn)單。

            2 氣路快速連接法蘭結(jié)構(gòu)采用本公司獨(dú)有的知識(shí)產(chǎn)權(quán)**設(shè)計(jì),提高操作便捷性。

            3 中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動(dòng)控制功能,高真空系統(tǒng)采用高壓強(qiáng),耐沖擊分子泵

             防止意外漏氣造成分子泵損壞,延長(zhǎng)系統(tǒng)使用壽命。

            系統(tǒng)名稱

            1200℃單/雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)

            系統(tǒng)型號(hào)

            CVD-12II-3Z/G

            CVD-12II6-3Z/G

            **溫度

            1200℃

            加熱區(qū)長(zhǎng)度

            420mm

            600mm

            恒溫區(qū)長(zhǎng)度

            280mm

            390mm

            溫區(qū)

            雙溫區(qū)

            雙溫區(qū)

            石英管管徑

            Φ50/Φ60/Φ80mm

            Φ80/Φ100mm

            額定功率

            3.2Kw

            4.8Kw

            額定電壓

            220V

            溫度控制

            國(guó)產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)50段程序控溫;

            控制精度

            ±1℃

            爐管**工作溫度

            <1200℃

            氣路法蘭

            密封法蘭與管件連接的地方采用多環(huán)密封技術(shù),在密封法蘭與管外壁間形成了密封,在管件外徑誤差較大的情況下密封仍然有效,該密封法蘭的安裝只需在**次使用設(shè)備的時(shí)候安裝

            氣體控制方式

            質(zhì)量流量計(jì)

            氣路數(shù)量

            3路(可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量)

            流量范圍

            0-500sccm(標(biāo)準(zhǔn)毫升/分,可選配)氮?dú)鈽?biāo)定

            精度

            ±1%F.S

            響應(yīng)時(shí)間

            ≤4sec

            工作溫度

            5-45℃

            工作壓力

            進(jìn)氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力)

            系統(tǒng)連接方式

            采用KF快速連接波紋管、高真空手動(dòng)擋板閥及數(shù)顯真空測(cè)量?jī)x

            規(guī)格

            高真空

            系統(tǒng)真空范圍

            1x10-3Pa-1x10-1Pa

            真空泵

            真空分子泵理論極限真空度5x10-6Pa抽氣速度1200L/S額定電壓220V    功率2KW

            真空分子泵理論極限真空度5x10-6Pa抽氣速度1600L/S額定電壓220V  功率2KW







            爐體外形尺寸

            340×580×555mm

            480×770×605mm

            系統(tǒng)外形尺寸

            530x1440x750mm(不含高真空)

            系統(tǒng)總重量

            330kg

             


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            10分

            易用性

            10分

            性價(jià)比

            10分
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