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        1200℃集成型自動小型PECVD系統(tǒng)
        1200℃集成型自動小型PECVD系統(tǒng)

        參考價格

        20-30萬元

        型號

        1200℃集成型自動小型PECVD系統(tǒng)

        品牌

        中環(huán)

        產地

        天津

        樣本

        暫無
        天津中環(huán)電爐股份有限公司

        金牌會員

        |

        第12年

        |

        生產商

        工商已核實

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        產品用途

        PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發(fā)生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。

        PECVD系統(tǒng)配置;

        1.1200度開啟式滑動單溫區(qū)真空管式爐

        2.等離子射頻電源

        3.多路質量流量控制系統(tǒng)

        4.真空系統(tǒng)(單獨購買)

        產品特性;

        電源范圍廣;溫度范圍寬;濺射區(qū)域長;整管可調;精致小巧,性價比高,可實現(xiàn)快速升降溫,是實驗室生長薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復合薄膜等的理想選擇,也可作為擴展等離子清洗刻蝕使用。

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        易用性

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        性價比

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