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用途
主要用于石英制品的真空脫羥工藝。
特點
★合理空間模塊化標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計
★雙層水冷爐體,高質(zhì)量材質(zhì),設(shè)備整體達到電子潔凈級
★方形╱圓形加熱室設(shè)計,金屬反射屏(鎢鉬)，360度輻射加熱
★高真空干式真空機組，徹底解決加熱室與真空腔體污染現(xiàn)象
★外置式換熱循環(huán)系統(tǒng),提高生產(chǎn)效率
技術(shù)參數(shù)
| 型號 | PZ-TQ336 | PZ-FS337 | PZ-FS448 | PZ-FS4412 | PZ-FS5515 |
| 有效尺寸(mm) | 300×300×600 | 350×350×700 | 400×400×800 | 400×400×1200 | 500×500×1500 |
| 承載量(kg) | 120 | 200 | 300 | 400 | 600 |
| **溫度(℃) | 1300 | ||||
| 升溫速度（℃） | 可控 | ||||
| 均溫性(±℃) | ±3 | ||||
| 極限真空(Pa) | 4.0X10-1 | 6.7x10-3 | |||
| 壓升率(Pa/h) | 0.67 | ||||
| 適用介質(zhì) | 氮氣(N2) | 氬氣(Ar) | |||
| 燒結(jié)工藝 | 真空 調(diào)壓燒結(jié)（分壓；微壓） | ||||
| 冷卻工藝 | 真空，封閉(加壓) 強制(加壓) | ||||
| 脫脂工藝 | N2負(fù)壓 H2大氣壓 | ||||
| 氣壓冷強 (bar) | 2 | ||||
| 控制方式 | 手動 自動 | ||||
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