CaO-B_2O_3-SiO_2系LTCC基板材料的制備及燒結(jié)

編號(hào)：CPJS01486

篇名：CaO-B_2O_3-SiO_2系LTCC基板材料的制備及燒結(jié)

作者：龍承毅； 張樹人； 周曉華； 李波；

關(guān)鍵詞：CaO-B2O3-SiO2； LTCC； 玻璃陶瓷；

機(jī)構(gòu)： 電子科技大學(xué)電子薄膜與集成器件國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室；

摘要： 通過高溫熔融法制備的CaO-B2O3-SiO2(CBS)系玻璃粉體(A料)與固相合成法制備的CaO-B2O3-SiO2-Al2O3粉體(B料)按照質(zhì)量比7:3混合,燒結(jié)制備CBS系LTCC材料,研究不同燒結(jié)溫度對(duì)材料性能的影響。結(jié)果表明:在850℃下燒結(jié)的CBS玻璃陶瓷致密性好,x-y方向收縮率為15.16%,密度為2.642g/cm3,εr=5.99(1MHz),tanδ<3.93×10-4(1MHz),抗彎強(qiáng)度σ=165MPa,具有良好的綜合性能,可用作LTCC基板材料。