溶膠-凝膠法制備SiO_2薄膜工藝研究

編號(hào)：CPJS01429

篇名：溶膠-凝膠法制備SiO_2薄膜工藝研究

作者：商靈芝； 董進(jìn)會(huì)；

關(guān)鍵詞：溶膠-凝膠法； 二氧化硅薄膜； 潤(rùn)濕性能；

機(jī)構(gòu)： 唐山陶瓷股份有限公司；

摘要： 以正硅酸乙酯為前驅(qū)體,以溶膠-凝膠法制備SiO2溶膠并且采用提拉法在玻璃基片上制備二氧化硅薄膜。研究了反應(yīng)過(guò)程中反應(yīng)溫度、反應(yīng)時(shí)間、催化劑、乙醇和水的加入量對(duì)溶膠性質(zhì)和成膜性能的影響,研究了提拉速度和焙燒溫度對(duì)二氧化硅薄膜潤(rùn)濕性能的影響。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,適宜的反應(yīng)條件為:反應(yīng)物的摩爾比TEOS∶EtOH∶H2O=1∶1.5∶1.0,反應(yīng)溫度70℃,pH=3,反應(yīng)時(shí)間1h,薄膜適宜的焙燒溫度為450℃。所制備出的二氧化硅薄膜均勻透明,潤(rùn)濕性能良好。